Изобретение относится к области .радиотехники, в частности к конструкции устройства для напыления тонких пленок 1при изготовлении пленочных Микросхем.
Известны устройства для «апыления пленок в .ва чууме, содержащие катод, анод и разлтещенный между катодом и подлож.кой дополнительный электрод, соединенный с плюсом всномогательного источника (ностояйпого напряжения, минус которого подключен к аноду.
Подобные устройства кон-структивно сложны, так как требуют применения отдельного выпрямителя и не обеспечивают высокого качества наносимых .плгнок.
С целью упрощения .конструкции и повышения качества .наносимых нленок в предлагаемом устройстве дополнительный электрод подключен к источнику переменного напряжения и можег быть размещен вне зоны катод-иодложкодержагель.
На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.
В вакуумной камере 1 раз:мещен катод 2 и подлолжодержатель 3, на котором укреплены напыляемые подлож.ки 4. Заземленный экран 5 служит для предотвращения образования тлеющего разряда на нерабочей поверхности
катода из распыляемого материала. В качестве анода служит основание 6 камеры. Дополнительный электрод 7 расположен вне зоны катод-лодложкодержатель и на него подается переменное напряжение. При положительной полуволне этого напряжения в рабочей камере возникает тлеющий разряд и образуется плазма, при отрицательной .полуволне напряжения Происходит распад нлазмы, и лоток ионов движется к аноду. При бомбардировке анода ионамИ поглощаются остаточиые газы, что уменьшает давление в камере и улучщает -качество напыляемых пленок.
15
Предмет изобретения
Устройство для напыления плено-к, содержащее гермегизированную камеру, катод, анод,
изолированный подложкодержатель и дополнительный электрод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции 1И повышения качества наносимых пленок, электрод, соединенный с ИСТОЧНИКО.М переменного нанряжепня, может быть размещен в любой точке камеры, расположенной вне зоны катод-подложкодержатель.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| УСТРОЙСТВО для ионного НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК | 1971 |
|
SU297709A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ | 2018 |
|
RU2691357C1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2004 |
|
RU2285742C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ И НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК | 2013 |
|
RU2540318C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 1971 |
|
SU315723A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ | 1992 |
|
RU2039846C1 |
| Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | 2015 |
|
RU2607398C2 |
| СПОСОБЫ, ИСПОЛЬЗУЮЩИЕ УДАЛЕННУЮ ПЛАЗМУ ДУГОВОГО РАЗРЯДА | 2013 |
|
RU2640505C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ | 1993 |
|
RU2065890C1 |
| УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ | 1997 |
|
RU2138094C1 |
tSXVxW
