СПОСОБ МАТИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦА Советский патент 1970 года по МПК H01L21/465 

Изобретение относится к способам обработки поверхности кварца, используемого в радиоэлектронной промышленности при изготовлении пленочных фотоэлектрических лучеприемников.

Кварц матируют с целью получения широкоразвитой поверхности для увеличения прочности сцепления с подложкой контактного металлического покрытия.

Матирование поверхности кварца производят путем пескоструйной обработки, при этом на матированной новерхности образуются микротрешины, и большое количество пластин бракуется вследствие сквозного пробоя. Процесс обработки трудно регулируется, нетехнологичен и вреден для здоровья.

Стекла типа С-90-1 по составу матируются химическим путем при помош,и плавиковой кислоты и шелочно-фтористых солей.

Однако растворы, рекомендуемые для матирования стекла, непригодпы для матирования кварца, ввиду неравномерности, точечности матирования и наличия большого числа непроматированных участков.

Целью изобретения является получение стабильной равномерно матированной по всему полю поверхности с определенным классом чистоты, исключение образования микротрешин на матированной поверхности кварца, устранение микрошумов и повышение порога

чувствительности пленочных фотоэлектрических лучеприемпиков, увеличение выхода годных изделий.

Сущность изобретения заключается в обработке подлежащей матированию поверхности кварца в смеси двух насыщенных растворов следующих составов:

1-й раствор

фторид калия160-180 г

азотная кислота 70%-ная100 мл

2-й раствор

фторид аммония120 г

азотная кислота 70%-ная100 мл

Раствор для матирования поверхности кварца приготовляют путем смешения насыщенных растворов в соотношении 1 : 1,2. Оптимальное время травления и число обработок определяются в каждом случае в зависимости от требуемого класса чистоты. Лучшие результаты дает двухразовая обработка по 10 мин с промежуточной промывкой и сушкой.

Описываемый способ матирования полированной поверхности кварца (14-го класса чистоты) обеспечивает стабильное, равномерное по всей плошади получек1ие матированной поверхности 8-10-го классов чистоты. 34

тем, что, с целью повышения равномерности ров фторида калия в азотной кислоте и фториматирования поверхности пластин, матирова-да аммония в азотной кислоте, взятых в соотние производят в смеси насыщенных раство- ношении 1 : 1,2.

263045