Раствор для матирования поверхности кварца Советский патент 1975 года по МПК H01L21/465 

1

Изобретение относится к веществам, используемым в технологии изготовления приборов электронной техники, а именно пленочных фотоэлектрических лучеприемников и других изделий с кварцевыми подложками.

Известен раствор для матирования кварца, состоящий из смеси насыщенных растворов фторидов в азотной кислоте. При обработке известным раствором получают стабильно матированную по всему полю поверхность кварца с определенным классом чистоты (8-10). Полученная при этом развитая поверхность обеспечивает увеличение прочности сцепления с подложкой контактного металлического покрытия и в основном удовлетворяет специфическим требованиям, предъявляемым к качеству фотоэлектрических лучеприемников. Однако относительная шероховатость (до 0,54 мкм) поверхности и ее неоднородность способствуют ухудшению электрических параметров тонкопленочных контактов.

Предлагаемый раствор позволяет обеспечить получение кварцевого микрорельефа разнообразной топологии с четким и ровным краем на границе матированных и нематированных участков, получение однородной матированной поверхности кварца с повышенным классом чистоты (10-12), увеличение вь1хрд.а годных изделий по фотоэлектрическим параметрам.

Это достигается использованием смеси насыщенных фтористого калия и фтористого аммония в соляной кислоте, поставляющей ионы Н+, необходимые для реакции с кварцем, и взятой в определенном соотношении.

Предлагаемый раствор, не обладая разрушительным действием на фоторезистор, позволяет получить штрихи до 0,03 мм и обеспечивает высокую однородность матированной поверхности.

Раствор для матирования приготовляют следующим образом. Концентрированную (35-37%-ную) соляную кислоту разбавляют водой в два раза и заливают в Два сосуда (фторопластовые стаканы) по 100-120 мл. Небольшими порциями при помешивании в один сосуд добавляют 90-100 г фтористого калия и в другой 180-

200 г фтористого аммония, далее содержимое обоих сосудов сливают, получая насыщенный раствор фторидов с большим количеством извести, равномерно распределенной по объему жидкости.

После выстаивания в течение 1 -1,5 час приготовленный раствор готов к работе.

Порядок операции при технологическом процессе получения матированного кварцевого микрорельефа с использованием предлагаемого раствора следующий:

нанесение копировального фоторезистивного слоя;

первая термообработка копировального слоя;

экспонирование копировального слоя;

проявление;

вторая термообработка;

химическое матирование (травление) не защищенных фоторезистом участков кварцевой поверхности;

промывка и сушка;

удаление фоторезистора, промывка. Пластину кварца с защитным фоторезистнвным рельефом определенной конфигурации погружают в раствор для матирования и выдерживают в течение 20-30 мин до образования равномерной матированной поверхности незащищенных участков.

Для создания защитного фоторезистивного рельефа могут быть использованы различные

позитивные фоторезисты (новолачные, обладающие высокой киСлОтостойкостью, и резольные, имеющие меньщую кислотостойкость, но лучшую адгезию к поверхности кварца).

Предмет изобретения

Раствор для матирования поверхности кварца в смеси насыщенных кислотных растворов фторида калия и фторида аммония, отличающийся тем, что, с целью осуществления прецизионного избирательного матирования, в него введена 36-37%-ная соляная кислота, а компоненты взяты в следующем соотношеСоляная кислота100-117

Фтористый ам йоний180-200

Фтористый калий90-100

Вода100-117.