СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ С КРЕМНИЕМ Советский патент 1970 года по МПК C03C3/87 

Изобретение относится к стеклу для спаивания с кремнием для изоляции компонентов интегральных схем, применяемых в электронной технике.

Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее SiOg, АЬО:,, СаО, MgO, TiOa.

Описываемое стекло обеспечивает улучшепия качества спая. Это достигается тем, что оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, % по весу:

SiO260-65

AlaO: 20-25

СаО1-3

MgO4-8

TiOo1-2

п, кроме того,

ВаО3-8

Например, стекло, содержащее, % по весу

SiOa61,5-63,5

АЬОз22-24

СаО1,5-2,5

MgO5,5-6,5

ВаО5-6

TiOs1-2,

/°С в интервале

температур 20-700°С35-36

Температура размягчения. °С850

igd-lQi при гц 16

8 при гц6,7

100510

Химическая стойкость, гидролитпче- I

ский класс

Температура начала кристаллпза-1150 ции, °С

Описываемое стекло спаивается с кремнием при 1100+ 0°С, пе кристаллизуется при температуре спаивания.

Изоляция из него устойчива прп последующих технологических операциях изготовления полупроводнпковых приборов.

И р е д м е т изобретения

Стекло для спаиваиия с кремнием, включающее SiOa, АЬОз, СаО, MgO, TiOo, отличающееся тем, что, с целью улучщенпя качества спая, опо содержит указанные кампоненты в следующих количествах, % ио весу:

ЗЮ-,60-65

АЬОз20-25

СаО1-3

MgO4-8

TiOs1-2