Стекло для спаивания с кремнием Советский патент 1975 года по МПК C03C3/04 

1

Изобретение относится к составам стекол для спаивания с кремнием и может быть использовано для изоляции компонентов интегральных схем, применяемых в электронной технике и также в качестве подложки для пленочных микросхем.

Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее SiO2, АЬОз, СаО, MgO, ВаО, TiOa.

Однако к. л. т. р. (коэффициент линейного термического расширения) известного стекла рассогласован с к. л. т. р. кремния в интервале температур 20-800°С на величину (2-3) 10 1/°С, что приводит к деформации спаянной конструкции.

Цель изобретения - получить согласованный спай в интервале температур 20-800°С.

Это достигается тем, что компоненты, входящие в состав стекла, взяты в следующих количествах, вес. %:

SiO2. 60-65

АЬОз20-25

СаО1- 5

MgO2- 6

ВаО1- 8

TiOs1- 2

и, кроме того,

ZnO4- 8

Стекло, содержащее 62 вес. % Si02, 23 вес. % АЬОз, вес. % СаО, 3,6 вес. % MgO, 3,4 вес. % ВаО, 5 вес. % ZnO и 1 вес. % TiO2, позволяет получать ненапряженные спаянные конструкции стекло-кремний вследствие полного согласования к. л. т. р. стекла и кремния в интервале температур 20-800°С (к. л. т. р. равен 36-10- 1/°С), а также понизить температуру спаивания на 30°С. Введеиие в состав стекла окиси цинка облегчает условия варки и выработки стекла.

Иредмет изобретеиия

Стекло для спаивания с кремнием, включающее SiOa, АЬОз, СаО, MgO, ВаО, ТЮ2, отличающееся тем, что, с целью получения согласованного сиая в интервале температур 20-800°С, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес. %: SiO2 60-65

АЬОз20-25

СаО1- 5

MgO2- 6

ВаО1- 8

ТЮ21- 2

и, кроме того,

ZnO4- 8