ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОЛНОВЫХ АБЕРРАЦИЙ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к устройствам для контроля оптических систем, обладающих большими волновыми аберрациями (асферических элементов, коиденсаторов для контроля асферических систем и т. д.).

Известные интерферометры, содержащие в качестве эталоиа плоскость или сферу, нозволяют контролировать с достаточной точностью малые волновые аберрации. Применени1е в качестве эталона а1сфе)ичес1кой новерхности связано со значительиыми материальными затратами.

Предложенный интерферометр отличается тем, что в качестве эталона используется зеркальная поверхность пластины, которая иод воздействием механических или пневматических иагрузок принимает форму, близкую к форме волнового фронта, искаженного испытуемой системой. Благодаря этому повыщается точность измерений.

Па фиг. 1 представлена принциниальиая схема; интерферометра для контроля оптических систем со значительными аберрациями с конечного расстояния.

светодолительный кубик 4, а затем на сферическое зеркало 5 и контролируемую систему 6. Центр кривизны сферического зеркала и фокус контролируемой системы совпадают с цептром диафрагмы 3. За коитролируемой системой установлена пластина 7, внешней зеркальной поверхности которой может придана требуемая форма путем пагруженпя винтом 8 или изменением давления в камере 9.

Пдущий в рабочую

1П1терферометра

ветвь

сферический волновой фронт PI в системе 6 р. преобразуется в волновой фронт 2, существенно отличающийся от плос1 ого или сферического. Регулировкой винта 8 пли давления в камере 9 зеркальной поверхности пластины 7 иридается форма, близкая к форме искаженного волнового фронта Р2. В результате выходящий .из ра.бочей. ветви волновой фронт Р, незначительно отличается от сферического и, интерферируя со сферическим волновым фронтом РО из ветви сравнения, дает на экране 10 слабо искривленные интерференционные полосы, с. которых могут быгь ,ieri;o измерены с высокой точностью. Фор.ма деформированной зеркальной новерхиости аттестуется с помощью колец Ньютона, которые образуются при введении в систему полупрозрачной пластины }}.

На фиг. 2 представлена схема интерферометра для контроля оптических систем в параллельном пучке лучей, содержащего иеточН1П / .монохроматического света, точечную диафрагму 3, сферическое зеркало 5, контролируемую спсте.му 6, деформируемую пластину 7, внегиняя зеркалыная .1нссть .которой служит поверхностью сравнеиия, камеру 9, полупрозрачную пластину II, объектив коллиматора 12, полупрозрачную разделительную пластину J3, линзу 14 для наблюдения интерференционной картииы. Задний фокус контролируемой системы 6 совмещен с центром кривизны сферического зеркала 5.

Предмет изобретения

Интерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем, содержащий рабочую и эталонную ветви, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона и повышения точности измерений, в одной из ветвей интерферометра установлены нластинка с внешней зеркальной поверхностью, снабженная устройством для механической либо ниевматической деформации ее новерхности, и нолупрозрачная пластина для аттестации нрофиля зеркальной деформированной поверхности.

//

-

.2