Предлагаемый прибор для измерения прочности и адгезии химически инертных резисторных нленок с изолирующей подлол :кой может найти применение в радиотехнической промышленностн при производстве резисторов, в частности для испытания резисториых электродов электрохимических управляемых сопротивлений.
В настоящее время для определения качества пленки резисторов применяют различные механические устройства и приборы, например образец, подвергающийся воздействию зпакоиеременных изгибающих нагрузок, закрепляют на валу, которому сообщают возвратно-поступательное движение (см., например, авт. св. № 122327).
Предлагаемый прибор содержит электролитическую ванну, в которую номещают образец, причем образен соединен в нараллель с реле максимального нанряжепия и источииком перемеиного тока. Знакоиеременные нагрузки создаются за счет внутренний напряжений осадка в процессе нанесения его на образец пли снятия с образца. Это позволяет автоматизировать процесс проверки и повысить точиость контроля. Прибор ие имеет двил ущихся механических деталей, проще по конструкции и более надежен в работе.
ным резисторным образцом 3, источника питания 4, узла реверсирования 5 тока, реле 6 минимального тока, реле 7 максимального тока, источника 8 переменного тока.
Ме.чаннческое нагруженне пленки резистора производится в электролитической ванне поочередным осаждением и снятием металла с ВЫСОКПЛ1 внутренним напряжением. Процесс осаждения-снятия осуществляется реверсированнем тока переноса.. При этом время нанесения меньще, чем время снятия.
Контроль пленки ведется по уменьшению тока переноса (папрпмер, в 1,2 раза) в цикл наиесения нли но увеличению переменного напряжения на резистор ном электроде (например, в 1,4 раза). При изменении тока нереноса или нанряжеиия в заданное число раз процесс нснытання автоматпчески прекращается - качество пленкн резистора определяется колнчеством циклов реверспровапня тока до изменения свойств пленки.
Псточник питания 4 цепп переноса работает в режиме генератора напряжеипя. Через узел реверсироваппя 5 и реле 6 минимального тока он соединен с металлическим электродом (анодом) 2 и резисторным образцом (катодом) 3. Катод соединен с реле 7 макснмальпого напряжения и источником 8 иеременного тока, который работает в режиме генеэлемромагнитиое реле, питаемое от реле времени) 5 изменяет направление прохождепня тока переноса через электролитнчсекую ванну и производит отсчет количества циклов реверсирования {например, с немощью счетчика числа циклов).
При включении прибора в работу величина падення напряжения на резисторном образце 3 недостаточна для срабатывания реле 7, а величина тока переноса велика для срабатывания реле 6. С износом нленки образца 3 (выкрашивание, отслаивание, ноявление микротрещип) ее омическое сонротивленне возрастает, что ириводит к уменьшению величины тока иереноса и увеличению иадения напряжения на катоде. При достижении одним из параметров (током, нанряжением) заданной величины процесс испытаний прекращается. Счетчик числа циклов дает количественную оценку
прочности нленки.
Процесс исиытаний и измерений максимально приближен к условиям работы резисторной пленки.
Прибор имеет небольщие габариты и удобен в работе.
Предмет изобретения
Прибор для измерения нрочности и адгезии резисторных нленок с изолирующей подложкой, содержащий электролитическую ванну, узел реверсирования тока со счетчнком числа циклов реверсирования, источники постоянного и неременного тока и реле минимального тока, отличающийся тем, что, с целью автоматизации процесса испытаний и повыщеиия точности результатов, испытуемый образец соединен в параллель с реле максимальиого напряжения и источннком неремениого тока.
1 о
J
