СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК С ПОВЫШЕННЫМ ЗНАЧЕНИЕМ КОЭРЦИТИВНОЙ СИЛЫ Советский патент 1970 года по МПК G11C5/04 G11C11/14 

Изобретение относится к области технологии изготовления тонких магнитных пленок для запоминающих устройств вычислительных машин.

Известны способы изготовления ферромагнитных нленок с повышенным значением коэрцитивной силы, основанный на методе увеличения коэрцитивной силы путем создания шероховатости подложки.

Однако известный способ не уменьшает трудоемкость процесса изготовления пленок, не обеспечивает воспроизводимость их магнитных свойств и не позволяет контролировать изменение их магнитных свойств в процессе изготовления.

С делыо повышения производительности, улучшения воспроизводимости и обеспечения возможности контроля магнитных параметров пленок в процессе их изготовления по предлагаемому способу поверхность магнитных пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не приводящему к изменению толщины магнитных пленок.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Соответствующий ферромагнитный материал, составляющий основу тонкой магнитной нленки, напыляют в вакууме на диэлектрические или металлические подложки. Температурный режим и температуру подло кек нодбирают такими, чтобы магнитные пленки получались с наиболее приемлемыми параметрами, в частности, с минимальной амплитудой и угловой дисперсией анизотропии.

Величина коэрцитивной силы, соответствующая температуре подложки 300-330°С, недостаточна для обеспечения надежной работоспособности магнитопленочного элемента, поэтому пленки после напыления и охлаждения до комнатной температуры извлекают из вакуумной камеры, производят измерение их магнитных параметров и затем помещают в ванну € химическим раствором для проведения операции химического травления поверхности.

Поскольку магнитные пленки имеют поликристаллическое строение, то повышение коэрцитивной силы происходит за счет избирательного локального травления очень малых но площади участков поверхности пленки, занимаемых границами кристаллитов и различного рода включениями. В результате этого общая толщина пленки остается практически неизменной, что существенно для получения необходимых эксплуатационных характеристик.

Зависимость коэрцитивной силы от неоднородностей толщины пленок приближенно описывается выражением H - , где Яс - коэрцитивная сила. С -константа, характеризующая толщину пленки, D - средняя толщина пленки.

Для травления используют 1%-ный раствор серной кислоты, в который неиосредственно неред употреблением вводят 2% натриевой соли изобутилнафталинсульфокислоты.

В процессе травления производится периодический контроль за изменением магнитных свойств пленки.

При достижении требуемого значения коэрцитивной силы процесс травления прекращают и пленки промывают в растворе аммиака. Весь цикл с момента первого нзмерення магнитных свойств пленок до момента нолучения заданных значений коэрцитивной силы составляет 1-2 мин.

Предел, до которого можно увеличивать коэрцитивную силу, определяется величиной угловой дисперсии анизотропии, которая может также изменяться в сторону увеличения.

При повыщении коэрцитивной силы вплоть до значений, равных полю анизотропии пленки, величина угловой дисперсии анизотропии

в первом приблилсении остается неизменной. Так, наирнмер, для магнитных пермаллоевых пленок толщиной 1000-1200°А, характеризуемых величиной коэрцитивной силы 1,6 - 1,7 э, увеличение коэрцитивной силы до 3,0 - 3,3 3 сонровождается всего лишь 10%-ным увеличеиием угловой дисперсии без изменения толщины магнитных пленок.

Предмет изобретения

Способ изготовления ферромагнитных пле нок с повыщенным значением коэрцитивной силы, основанный на вакуумном напылении ферромагнитного материала в ориентирующ ем магнитном поле на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, улучшения воспроизводимости и обеспечения возможности контроля магнитных параметров пленок в процессе изготовления, поверхность магнитных пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не нриводящему к изменению толщины магнитных пленок.