УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРИВОЙ СТАТИСТИЧЕСКОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ СЛУЧАЙНЫХ ПРОЦЕССОВ Советский патент 1970 года по МПК G06G7/52 

РЬобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и предназначено для набора статистических данных об электрических параметрах полупроводниковых изделий.

Фото-осциллографический способ построения кривой статистического распределения известен. Однако этот способ требует дополнительной химической обработки фотоматериала и последующего анализа его на микрофотометре.

Целью изобретения являются упрощение аппаратуры и ускорение обработки данных, а также получение возможности наблюдения за кривой распределения (гистограммой) в процессе работы.

С этой целью предложенное устройство выполнено в виде равномерно вращающегося прозрачного цилиндра или диска с нанесенным на них слоем непрозрачного легкоповреждаемого покрытия, а запись производится посредством электромагнитного отметчика с управлением от нуль-органа, сравнивающего исследуемое и опорное пилообразное напряжения. Такое выполнение запоминающего устройства обеспечивает при минимуме деталей запоминание больщого объема информации, простоту записи и считывания ее. Считывание информации с помощью фотодиода и использование в качестве двухкоординатного регистфа осциллографа с синхронизацией развертки от двигателя позволяет наблюдать за кривой распределения в процессе работы.

Предлагаемое устройство изображено на чертеже.

На валу / электродвигателя с внутренним редуктором 2 закреплены прозрачный (например из оргстекла) барабан 3, механическое сканидирующее устройство, содержащее червяк 4 и штифт 5. жестко связанное с червячной шестерней 6 водило 7, свободным своим концом скользящее в прорези 5 качающегося кронщтейна 9. На кронштейне 9 закреплен электромагнит 10 с легким якорьком-отметчиком 11. Напротив лампочки 12 подсветки помещены линза 18 и фотодиод 14 считывающего устройства. На прозрачный барабан 5 нанесена непрозрачная дорожка 15, например из сажи. Контакт 16 связан электрически с клеммой синхронизации осциллографа 17 (желательно низкочастотного с послесвечением экрана), а контакт 18 - с зарядной емкостью 19, сопротивлением 20 и одним из входов нуль-органа 21. К выходу нуль-органа подключен электромагнит 10, работающий на отпускание.