УСТРОЙСТВО для ПРОГРАММНОГО УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫМИ УСТАНОВКАМИ Советский патент 1970 года по МПК G06F9/06 

Изобретение относится к устройствам программного управления с сохраняемой ирограммой и применяется при управлении процессами электроннолучевой обработки и для изготовления микросхем.

Известны устройства для программного управления электроннолучевыми установками, содержащие блок ввода информации, универсальный вычислитель, выход которого соединен с преобразователем код- аналог, связанным с электроннолучевой установкой, подключенной к блоку технологического режима.

Известные устройства не обеспечивают автоматической обработки большого числа элементов за одну зарядку вакуумной камеры электроннолучевой установки и имеют недостаточную точность совмещения истинного начала координат рабочей поверхности с началом координат отклоняющей системы.

Предложенное устройство отличается тем, что в него введен датчик вторичных электронов, соединенный с дискриминатором уровня видеосигнала, иодключенным к ирецизионному измерителю отклонения, связанному через блок управления выработкой корректирующего воздействия с универсальным вычислителем, подключенным через блок управления к прецизионному измерителю отклонений.

граммного управления электроннолучевыми установками; на фиг, 2 показана одна из рабочих площадей обработки.

Блок управления / соединен с универсальньш вычислителем 2, быстродействующим программоносителем 3, блоком управления выработкой корректирующих воздействий 4 и блоком ввода 5. Пульт управления 6 подключен к блоку ввода, связанному с быстродействующим программоносителем, который подсоединен к блоку управления 1, универсальному вычислителю и блоку технологического режима 7. Универсальный вычислитель соединен с блоком технологического режима, блоком управления шаговым приводом 8, цифроаналоговым преобразователем Я прецизионнь1м измерителем отклонений 10 и видеоконтрольным блоком 11. Блок технологического режима, блок управления шаговым приводом

8, цифро-аналоговый преобразователь соединены с электроннолучевой установкой 12. Выход датчика вторичных электронов 13 подключен к дискриминатору уровня видеосигнала 14, который соединен с видеоконтрольным

блоком и прецизионным измерителем отклонений. Последний имеет двустороннюю связь с блоком управления выработкой корректиру-. ющих воздействий 4. На фиг. 2 показано положение реперной . 1етки /5, нанесенной с заОсей координат 16 отклоняющей системы электроннолучевой установки и осей координат 17 рабочей площади. О - центр осей коорди;ат отклоняющей системы электроннолучевой становки; О - центр осей координат действительного положения рабочей нлощади; АЛ и ЛУ-отклонение действительного центра осей координат рабочей площади от осей координат отклоняющей системы. Перед обработкой изделия на его поверхность наносят репериые метки, определяющие положение рабочих площадей. Программу, записанную на перфоленте, при помощи блока ввода 5 вводят в быстродействующий про- 15 граммоноситель 3. Дальнейщая работа устройства программног) управления осуществляется по сигналам блока управления 1 в соответствии с программой. В блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 запи- 20 сывают информацию о положении и размерах рабочей площади, поступающую из быстродействующего программоносителя 3. В соответствии с этой информацией блок управления выработкой корректирующего воздействия 25 4 записывает в универсальный вычислитель координаты начальной точки поиска реперной метки. Эти координаты, выраженные в цифровом виде, преобразуют в цифро-аналоговом преобразователе в отклоняющий ток, который 39 поступает в отклоняющую систему электроннолучевой установки и отклоняет луч в начальную точку поиска реперной метки. Блок управления 1 переключает блок унравления выработкой корректирующего воздействия 4 в 35 режим поиска ренерной метки. Поиск представляет собой дискретное перемещение электронного луча от начальной точки по площадке поиска параллельно осям X и У. Поиск ведется сначала по одной оси, затем по другой. 40 При попадании луча на реперную метку датчик вторичных электронов выдает видеосигнал на дискриминатор уровня видеосигнала, который выделяет полезный сигнал и подает его в прецизионный измеритель корректирующего45 воздействия. Последний производит опрос дискриминатора уровня видеосигнала в каладой точке поиска. Площадь поиска выбирают в за510 висимости от погрешности стола электроннолучевой установки. Прецизионный измеритель корректирующего воздействия измеряет величины отклонения , ЛУ. Пайденные величины запоминает блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 и выдает сигнал о конце поиска в блок управления 1. Этот сигнал переключает устройство программного управления в режим обработки рабочей площади. При распределении информации блоком управления / между блоками устройства блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 производит коррекцию начальных и копечных точек каждого участка обработки на величины найденных отклонений. Коррекция представляет собой сложение начальных и конечных координат точек каждого участка с величинами вычисленных отклонений АХ и АУ. После обработки всей рабочей площади блок унравления 1 производит ее замену при помощи щагового привода стола и затем переключает блок управления выработкой корректирующего воздействия в режим поиска реперной метки и нахождения корректирующих воздействий. Цикл работы повторяется до тех пор, пока все рабочие поверхности не будут обработаны. Предмет изобретения Устройство для программного управления электроннолучевыми установками, содержащее блок ввода информации, блок управления, универсальный вычислитель, выход которого соединен с нреобразователем код - аналог, связанным с электроннолучевой установкой, подключенной к блоку технологического рем-:има, отличающееся тем, что, с целью повыщения точности и надежности работы устроиства, в него введен датчик вторичных электронов, соединенный с дискриминатором уровня видеосигнала, подключенным к прецизионному измерителю отклонения, связанному через блок управления выработкой корректирующего воздействия с универсальным вычислителем, подключенным через блок управления к прецизионному измерителю отклонений.

7i5,