СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ Советский патент 1970 года по МПК G01B7/16 

Известны способы измерения деформаций при помощи кремниевых тензодатчиков, в которы.х выходным параметром, меняющимся от нагрузки, является сопротивление чувствительного элемента.

Предложенный способ отличается от известных тем, что измерярот изменение емкосгп р-/г-перехода датчика. Это позволяет повысить точность измерения при переменных темнсратурах.

Па чертеже изображен график изменения емкости р-п-перехода от величины одноосной деформации сжатия.

Способ измерения деформаций при номощи кремниевых полупроводниковых тензодатчиков заключается в том, что тензодатчик жестко соединяют с исследуемой деталью, нагружают деталь и измеряют изменение емкости р-п-нерехода датчика.

Лабораторные исследования иоказали, что

ЛС

относительное увеличение емкостир-п-перехода кремниевых полупроводниковых тензодатчиков линейно возрастает при одноосном сжатии, а коэффициент тензочувствительности достигает максимального значения прн напряжении смещения 0,6 в. Темнературный коэффицнент тензочувствительности имеет постоянное значение в дианазоне температур от -50 до +150°С.

Таким образом способ измерения деформаций обладает высокой точностью нри переменных температурах.

Предмет изобретения

Способ пзмереиня деформаций при помощи кремниевых полупроводниковых тензодатчиков, заключающийся в том, что датчик жестко соединяют с исследуемой деталью, нагружают деталь и измеряют один из электрических параметров датчика, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерений при переменных температурах, измеряют измененне емкости р-/г-перехода датчика.

/ .

0 1,0 1,5 2.0 flO