УСТРОЙСТВО для ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ из ГАЗОВОЙФАЗЫ Советский патент 1971 года по МПК C21D9/00 

Изобретение относится к области получения покрытий из газовой фазы.

Известно устройство для получения нокрытий из газовой фазы, содержащее вертикально-расположенную реакционную камеру ео съемными днищами, имеющими каналы для ввода и вывода газа, и сальниковые уплотнения для вертикального закрепления подложки но оси камеры.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что наружные стенки реакционной камеры и нижнее днище снабжены змеевиками для циркуляции тенлоносителя, а каналы для ввода и вывода газа расположены в верхнем и нижнем днищах концентрически относительно подложки нод утлом 20-60° к ее оси. Это обеспечивает равномерность осаждения покрытия.

Иа чертеже показано описываемое устройство.

Оно состоит из вертикально расположенной камеры / со съемными днищами 2 и 3, в которых имеются каналы 4 и 5 для ввода и вывода газа, и сальниковых уплотнений 6 для вертикального закрепления подложки 7 но оси камеры. Наружные стенки камеры 1 и нижнее днище 2 снабжены змеевиками 8 для циркуляции тенлоносителя, а каналы 4 и 5 для ввода и вывода газа размещены в верхнем и

нижнем днищах концентрически относительно нодложки под углом 20-60° к ее оси. Нагрев нодложкн 7 осуществляется при помощи нагревателя 9.

Вводимая сверху газовая смесь через канал 10 попадает в пространство 11, предназначенное для смещения газа, а далее через каналы 4 - в реакционную камеру /. Попав в

нисходящую ветвь конвенционного потока, возникающего в результате разницы температур между нагреваемой подложкой и охлаждаемыми стенками реакционной камеры, газовая смесь вступает в непосредственный контакт с подлол кой 7 в нижней части реакционной камеры. Двигаясь снизу вверх, газовая смесь постепенно обедняется.

Снижение скорости осаждення материала на подложке 7 за счет обеднения смеси компенсируется увеличением температуры, т. е. созданием положительного граднента температуры в направленнн газа (снизу - вверх), что достигается о.хлаждением нижней части подложки конвенционным потоком газов и

теплоносителем, циркулирующим но змеевику 8 нижнего днища 2. Изменяя темнературу стенки реакционной камеры, можно регулнровать скорость конвенцнонного потока и создаваемый им градиент температуры по