Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы Советский патент 1974 года по МПК C23C11/00 

1

Изобретение относится к области нанесения пок|«тий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий из газовой фазы на внелшюю поверхность длинноыерных яэделий.

Известно устройство для нанесения покрытие из газовой фазы на внелнюю поверхность длинномерных изделий, содержащее вертикальную реакционную камеру со съемными днищамя, снабженными сальниковылш уплотнениями для крепления изделия и каналами для ввода и вывода газо располошнными концентрически относительно уплотнений. Каналы для вывода газов выполнены в нижнем днище, а для ввода газов - в верхнем. Одушко отмечается относительно низкая степень использования полезных компонентов. Это объясняется тем, что при подаче газовой смеси сверху со скоростью, меньшей скорости конвекционного пото|ка, возникающего за счет различия

температур стенок и центральной нити (подложки), газовая смесь оттесняется к наружным стенкам камеры и отбирается снизу из частично обедненного газового потока, который не находится в непосредственном контакта с нагретой поверхностью.

Цель изобретения - повышение степени использования реагирующих веществ. Это достигается тем, что устройство снабжено экранами, смонтированнылш коаксиально камере, каналы для вывода газов выполнены в верхнем днище, причем один из экранов смонтирован непосредственно на верхнем днище между каналами для ввода и вывода газов, а другой держателяш установлен на нижнем днище с зазором относительно него.

На чертеже представлено предложенное устройство.

Устройство состоит из камеры I со съемными днищами 2 и 3, снабженными сальниковыми уплотнениями

4 дм крепдвяия издвжя 5 ж жаяалами для ввода б и вывода 7 газовой смеси, экранов 8 м 9 и нагревателя 10.

Устройство работает следунь щим образом.

При нагреваний подложки в реакц 2 онном flpocTf flCTBe возникает конвекционный поток газовой смеси направление которого доказано стрелками Газовая смесь поступает в реакционное пространство по каналам 8 и попадает в нисходящий доток, движущийся у стенок камеры 1 На участке между верхним 8 а нижним 9 экранами происходит частичная диффузия реагирующих веществ из нисходящего потока в восходящий обусловленная различием концентраций по сечению камеры I. Частично обедненная газовая смесь в нисходящем потоке достигает днища 2 и, пройдя под эк раном 9, попадает в восходящую ветвь конвекционного потока, где вступает в непосредственный контакт с поверхностью изделия 5. Во врегля движения снизу вверх газовая смесь интенсивно реагирует и выводится вверху через каналы 7, расположенные вблизи подложки.

Удлинение пути, на котором отбираются полезные. компоненТЫ ив

газовой смеси, а непосредственный контакт реагирующих компонентов с нагретой повархностью повышают степень использования полезных компо нентов

ПРВДЬШТ ИЗОБРЗТШИЯ

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы на внешнюю поверхность длинномерных изделий, содержащее вертикальную реакционную камеру со съемными дниирми, снабженными сальниковыми уплотнениями для крепления изделия и каналами для ввода и вывода газов, расположенными концентрически относительно уплотнений, о т л и чающе еся тем, что, с целью повышения степени использования реагирующих веществ, оно снабжено экранами , смонтированными коаксиально камере, причем один из экранов смонтирован непосредственно на верхнем днище между каналами для ввода и вывода газов, другой - держателями уста- новлен на нижнем днище с зазором относительно него, а каналы для вывода газов выдоднены в верхнем днище.