Известны вакуумные насосы, содержащие размещенный в корпусе ротор в виде установленных на валу рабочих колес.
Цель изобретения - повышение компактности насоса.
Для этого в предлагаемом вакуумном насосе колеса в высоковакуумной области выполнены молекулярными, например турбомолекулярными, а в форвакуумной - вихревыми.
На фиг. 1 изображен описываемый насос с турбомолекулярными колесами в высоковакуумной области; на фиг. 2 - насос с молекулярными колесами.
В корпусе 1 вакуумного насоса на валу 2 установлены роторы в виде молекулярных 3 и вихревых 4 колес. Вал вращается в подшипниках 5, уплотненных посредством лабиринтов 6. Привод насоса осуществляется от высокочастотных либо асинхронных двигателей через ременную передачу.
Работает насос следующим образом.
Газ через вакуумный затвор 7 и всасывающий патрубок 8, разделяясь на два потока, поступает в молекулярную часть насоса, в которой сжимается от давления Ю мм рт. ст., соответствующего молекулярным режимам течения, до форвакуумного давления. Затем газ проходит в вихревую часть, где сжимается до давления, несколько большего 1 ата, и выходит из насоса через нагнетательный патрубок 9. Так как подшипники
находятся под атмосферным давлением, то
смазывают их с помощью масляного насоса
или капельниц с дозированной подачей масла.
Вследствие того что давление нагнетания
несколько выще давления в подшипниковых камерах, обеспечивается постоянная продувка газа в направлении от рабочей полости к подшипникам, что исключает загрязнение сжимаемого газа маслом. Подшипниковые узлы
сообщаются с атмосферой.
При остановке насоса перекрывается вакуумный затвор 7. Возмолсно применение однопоточного насоса, однако при этом необходимы подшипники, не нуждающиеся в смазке.
Запускают насос с атмосферного давления, при пониженных числах оборотов или с дросселированием на всасывании.
При наличии двух приводных двигателей в момент пуска включают оба двигателя, чем
обеспечивается повышенная пусковая мощность; при выходе на режим один из двигателей отключают.
Предмет изобретения
Вакуумный )шсос, содержащий размещенный в корпусе ротор в виде устаиовленных на валу рабочих колес, отличающийся тем, что, с целью повышения компактности, колеса в высоковакуумпой области выполнены моле 2
:
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ГИБРИДНЫЙ НАСОС | 2012 |
|
RU2561514C2 |
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU296910A1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ | 2012 |
|
RU2490519C1 |
ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЬШ КАСОС | 1965 |
|
SU170609A1 |
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
ВАКУУМНЫЙ ГАЗОРОТАЦИОННЫЙ НАСОС | 2003 |
|
RU2237824C1 |
Турбомолекулярный насос | 1991 |
|
SU1810610A1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU312965A1 |
Электрическая машина | 1976 |
|
SU625290A1 |
2 Э
Даты
1971-01-01—Публикация