Турбомолекулярный насос Советский патент 1993 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциитурбомоле- кулярного вакуумного насоса (ТМН).

Цель изобретения . - улучшение откачной характеристики.

Изобретение поясняется чертежами, на которых представлены поперечные и продольные сечения насоса (фиг.1 и 2).

Предлагаемый насос содержит корпус 1 с входным патрубком и расположенный по оси насоса ротор 2. Ротор 2 установлен в .подшипниковом узле с встроенным электродвигателем 3. Проточная полость насоса состоит из пакетов турбомолекулярных колес 4 и молекулярных колес 5, а также переходной ступени 6 между ними. Насос работает следующим образом. После создания предварительного разрежения в корпусе насоса 1 ротор 3 раскручивают до номинальных оборотов. Молекулы газа, откачанные турбомолекулярными колесами, попадают на переходную ступень 6. За счет взаимодействия с каналами 7 переходной

ступени 6 молекулы получают импульс в направлении окна всасывания 8 молекулярной ступени 5. В результате увеличивается вероятность откачки этих молекул молекулярной ступенью.

Предложенный насос позволяет уменьшить сопротивление на входе в молекулярную ступень на 40% по сравнению с прототипом.

Формула изобретения Турбомолекулярный насос, содержащий корпус с входным патрубком и размещенный в корпусе ротор в виде установленных на валу рабочих колес, из которых колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекулярными, а в фор- вакуумной - молекулярными, о т л и ч а ю щ- и и с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, между пакетами турбомолекулярных и молекулярных колес установлена промежуточная ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненел

с

со

о

о

о

ными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса.

Сущность изобретения: в корпусе с входным патрубком размещен ротор в виде установленных на валу рабочих колес. Колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекулярными, в форваккумной - молекулярными. Между пакетами колес установлена промежуточная ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса.2 ил.

Редактор М.Козлова

Техред М.Моргентал

Заказ 1432Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Корректор П.Гереши