ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО для ВВОДА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ И ВЫВОДА ИЗ НЕЕ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ Советский патент 1971 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известно шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоски.1, изделий, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и приводные роликовые шлюзы.

С целью обеспечения минимального натекания газа и центрирования дискретно поступающих изделий разных размеров, в предложенном устройстве роликовые шлюзы смонтированы в пазах корпусных пластин, причем один из роликов состоит из набора тел вращения, а другой ролик, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотпым выводом, связанным с приводом.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез по Л-А на фиг. 1; на фиг. 3-разрез по Б-Б на фиг. 2.

Устройство состоит из ряда камер 1 со ступенчатым понижением давления и приводных роликовых шлюзов, смонтированных в пазах 2 корпусных пластин 3, 4 камер, причем один из роликов 5 состоит из набора тел вращения, например цилиндров, а другой ролик 6, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотным выводом, связанным с приводом 7.

ность радиального перемещения в пазу 2 корпусной пластины на максимальную толщину пропускаемого изделия. Пазы вакуумплотно закрыты крышками, необходимы.м для сборки или разборки устройства. Корпусные пластины снабжены патрубками для присоединения вакуумных насосов, соединяющих перепад давления на ступенях шлюзового устройства.

Изделие 8, подлежащее подаче в вакуумную камеру или следующее из вакуумной кямеры, попадает своим передним концом между роликами. Во время прохождения изделия через роликовый шлюз приподняты только те

части ролика 5, которые непосредственно находятся в соприкосновении с изделием, остальные же закрывают оставшуюся ширину шлюзового устройства. Благодаря наличию привода изделие перемещается посредством ролика 6 и следует от одной пары ролика к другой по камере. После прохождения очередного изделия через пару роликов все гасти ролика 5 возвращаются в исходное положение и суммарной образующей по всей

длине прилегают к ролику 6, шлюз закрывается и натекание газа через него происходит только через зазоры, связанные с технологическими возможностями изготовления шлюзового устройства.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоских изделий, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и нриводные роликовые шлюзы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения минимального натекания газа и

центрирования дискретно поступающих изделий разных размеров, роликовые шлюзы смонтированы в пазах корпусных пластин камер, причем, один из роликов состоит из набора тел вращения, а другой ролик, установленный в подшипниках, снабл ен вакуумплотным выводом, связанным с приводом.

SJiakiy