Шлюзовое устройство Советский патент 1974 года по МПК C21D9/00 C23C13/08 

1

Изобретение относится к области обработки изделий Б вакууые.

Известно шлюзовое устройство содержащее ряд камер, со ступенчатым понижением давления и толкатоль, выполненный в виде цилиндра с гнездами.

Изазестное шлюзовое устройство имеет следующие недостатки,

1.Часть толкателя для обеспечения герметизации вакуумной рабочей камеры при выводе изделий в область более высоких давлений остается в шлюзовом устройстве и поэтому толкатель изготовляют большой длины,

2,Толкатель невозможно полностью извлечь из шлюзового устройства без нарушения герметичности вакуумной рабочей камери и позтому нельзя быстро перенести изделие из одной рабоч i чей камеры на операций,проводи 1ую на атмосфаре.

С целью уменьшения длины толкателя и обеспечения полного его вывода из шлюзового устройства без нарушения вакуума рабочей 5 камеры каждая шлюзовая камера снабжена подпружиненным клиновым затвором, а конец толкателя выполнен в виде клина.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство содержит корпус I со шлюзовыми камерами 2-5, ступенчато понижающими давление, , толкатель 6, конец которого выпол5 иен в виде клина с гнездом 7

В каждую шлюзовую камеру установлен клиновый затвор 8, которьш закрывает под действием сил упругости пружин 9 отверстие 0 прохода толкателя.

Шлюзовые камеры откачиваются через соответствующие откачные патрубки 10,

Устройство работает следующим 5 | бразом,I

После установки изделия II в гнездо 7, толкатель 6 вводится Б шлюзовую камеру 2,

При своем движении толкатель входит в контакт с клиновыми затворами 8 и открывает их, преодолевая усилие пружин 9.

Шлюзовые камеры 2-5 со ступенчато-понижающим давлением через соотвегвтвующие откачные

патрубки 10 уменьшают натакание газа в вакуумную рабочую камеру который проникает через зазоры между корпусом I и толкателем 6 а также заносится гнездом 7.

При извлеченном толкателе натекание газа происходит через зазоры между корпусом I и закрытыми клиноьыми затворами 8. Этот поток газа удаляется через откачные патрубки.

Так как шлюзовая камера 2 СО стороны атмосферы при этом 533 Ц. 3 9

открыта, откачка через откачной патрубок этой камеры не ведется,

ПРЩЛЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Шлюзовое устройстБО,содержаJQ щбе ряд камер со ступенчатым понижением давления и толкатель, выполненный Б виде цилиндра с гнезда2 ми для размещения изделий и имеющий возможность возвратно-поступательjg ного перемещения,

отличающееся тем, что, с целью уменьшении длины толкателя и обеспечения полного его вывода из шлюзового устройства без 20 нарушения вакуума в рабочей камере, каждая шлюзовая камера снабжена подпружи 1енным клиновьш затвором, а конец толкателя выполнен в виде клипа, 9,