ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА И ВЫВОДА ИЗДЕЛИЙ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/56 

1:

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме. .

Известно шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий в .вакуумную камеру с загрузочным механизмом. Однако в этом устройстве изделие вводится в камеру с помощью двух поршней, проходяших последовательно при своем движении отсасывающие патрубки со ступенчатопонижаюшимся давлением, что приводит к визкой производительнести.

Цель изобретения - увеличение производительности.

На фиг. 1 представлено предложенное устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез.

Устройство содержит загрузочный механизм, выполненный в виде заключенного в вакуумплотный корпус 1 ротора 2 с расположеиными оо окружности гнездами 3 для загрузки изделий. По окружности корпуса имеются отверстия с патрубками 4, отходящими к вакуумным насосам, а также отверстие к бункеру 5. Вал 6 ротора 2 выведен из корпуса / через механический вакуумный ввод 7. Ротор: 2 помещен в корпус 1 к. зазорами по торцам и окружности, обеспечивающими минимальное натекание из области низкого вакуума в область высокого вакуума.

Из бункера 5 изделия попадают в гнезда 3 ротора. При вращении ротора 2 последний подводит загрузочное гнездо 3 последовательно к каждому из отсасывающих со ступенчато понижающимся давлением патрубков 4, а затем подает изделия в вакуумную камеру. Освободивщееся от изделий гнездо в обратной последовательности проходит мимо патрубков 4, с помощью которых давление в гнезде 3 ступенчато повыщается. Подойдя к бункеру 5, гнездо 3 загружается снова, и процесс передачи изделий в вакуумную камеру повторяется. Так как ротор имеет несколько гнезд 3, то за время одного оборота половина гнезд постоянно заполнена изделиями, которые периодически поступают в камеру, а освободивщиеся гнезда загружают снова.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий в вакуумную камеру с загрузочным механизмом, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности, загрузочный механизм выполнен в виде заключенного в вакуумплотный корпус ротора с расположенными по окружности гнездами для загрузки изделий.