СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПРОСКРАЙБИРОВАННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ Советский патент 1971 года по МПК H01L21/78 

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов.

Известен способ разделения полупроводниковых пластин на кристаллы после скрайбирования, заключающийся в том, что полупроводниковую пластину помещают на перфорированную мембрану, ориентируя пластину таким образом, чтобы каждый кристалл тыльной стороной располагался напротив соответствующего отверстия в мембране. Разделяемая пластина, перекрывая все отверстия, позволяет получить замкнутый объем. После этого изпод мембраны откачивается воздух, под действием атмосферного давления мембрана прогибается, и пластина раскалывается на крисгаллы.

Известный способ разделения имеет следующие недостатки: необходимость ориентации кристаллов относительно отверстий в мембране, что усложняет устройство для осуществления способа и снижает производительность, а также ограниченность использования мембраны, определяемой размерами пластин и кристаллов.

Предложенный способ позволяет использовать пластины и кристаллы различных размеров.

ную сетку, изолируют ее от атмосферного давления с помощью эластичной воздухонепроницаемой пленки, из-под сетки откачивают воздух, и производят раскалывание.

Способ поясняется чертежом.

Проскрайбированную пластину / произвольно устанавливают тыльной стороной на мелкоячеечную сетку 2. Сверху на пластину накладывают воздухонепроницаемую эластичную пленку 3, и из-под сетки откачивают воздух. Под воздействием атмосферного давления сетка прогибается, и пластина раскалывается на кристаллы.

Предмет изобретения

Способ разделения проскрайбированных полупроводниковых пластин на кристаллы путем расположения их на перфорированной мембране с последующим воздействием на пластины избыточного давления, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности труда, в качестве мембраны используют мелкоячеечную сетку, на которой произвольно располагают пластину, изолируют эту систему воздухонепроницаемой эластичной пленкой, например из полиэтилена, после чего производят откачку воздуха и раскалывание.