ПАТЕЯТНО-ТЕХКЙНЕГКАЯБИБЛИОТЕКА Советский патент 1971 года по МПК G05D7/01 

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано также в аналитической химии при точных дозировках исследуемых газов, в области квантовой техники и в области радиоспектроскопии.

Известен вентиль-натекатель Мориссона, выполненный в виде двух прилегающих плат, нижняя из которых имеет несколько сквозных калиброванных отверстий. При перемещении верхней платы последовательно перекрываются или открываются отверстия, и таким образом регулируется расход газа через них.

Недостатком известного устройства является отсутствие плавной характеристики регулирования, недостаточная точность или малая разрешающая способность регулирования на участках характеристики, соответствующих перемещению края подвижной платы в пределах каждого из отверстий.

С целью повышения точности и обеспечения плавности регулирования в условиях вакуума в предлагаемом устройстве подвижная плата выполнена подпружиненной, снабжена выемкой переменного сечения, расположенной на поверхности, обращенной к нижней плате, образуя над выходным каналом щель, и механически соединена со штоком, выведенным через уплотнение из корпуса.

На фиг. 1 изображена конструкция описываемого устройства; на фиг. 2 - узел Л в работе.

Устройство состоит из подвижного элемента / и корпуса 2, соприкасающихся притертыми поверхностями. Корпус имеет отверстие 3, сообщающееся с выходным патрубком 4. Нодвижный элемент имеет выемку переменного сечения 5, размещенную на поверхности, соприкасающейся с поверхностью корпуса. Выемка переменного сечения сообщается с входным патрубком 6. Подвижный элемент поджат к корпусу пружиной 7 и связан через узел механического соединения 8 со штоком 9,

которым он может приводиться в возвратнопоступательное перемещение. Шток по месту выхода из корпуса имеет окружающее его высоковакуумное уплотнение W. Устройство действует следующим образом.

При начальном положении подвижного элемента 1 в крайнем правом положении отверстие 3 в корпусе 2 перекрыто притертой поверхностью подвижного элемента 1. При наличии разности давлений газа во входном 6 и

выходном 4 патрубках устройство не пропускает газ за исключением незначительных количеств, определяемых качеством притирки соприкасающихся поверхностей подвижного элемента / и корпуса 2, которыми можно преотверстия 5 эти количества значительно меньше, чем в случае нескольких отверстий, как это имеет место в вентиле-натекателе Моррисона.

При поступательном перемещении подвижного элемента / с помощью штока 9 влево в районе отверстия 3 образуется микрощель за счет того, что выемка 5 переменного сечения при этом смещается также влево, проходя над отверстием 3 в корпусе 2. Величина микрощели определяется положением выемки 5 переменного сечения относительно отверстия 3 в корпусе 2, а также - ее геометрическими размерами и формой. Величина микрощели в каждом из возможных полол ений подвижного элемента / определяет величину проводимости потока газа. Минимальные количества пропускаемого газа соответствуют положениям подвижного элемента 7 справа (фиг. 2,6), а максимальные-слева (фиг. 2,0).

В предлагаемом устройстве достигается повыщение точности регулирования малых расходов газа за счет .изменения размеров выемки 5 переменного сечения, т. е. уменьшения размера /г и увеличения .размера / (фиг. 2,а).

В предлагаемом устройстве при перемещении выемки переменного сечения над отверстием 3 микрозазор в районе этого отверстия изменяется плавно без скачков, что обусловлено возможностью технологического исполнения поверхностей выемки переменного сечения плоскими.

Предмет изобретения

Устройство для регулирования малых расходов газа, содержащее корпус с патрубками для ввода и вывода газа, в котором расположены неподвижная плата со сквозным выходным каналом и притертая к ней подвижная плата, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и обеспечения плавности регулирования в условиях вакуума, подвижная

плата выполнена подпружиненной, снабжена выемкой переменного сечения, расположенной на поверхности, обращенной к нижней плате, образуя над выходным каналом щель, и механически соединена со штоком, выведенным через уплотнение из корпуса.

Фиг. 1

2 J