ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ Советский патент 1971 года по МПК G01K7/22 

Изобретение относится к области приборостроения.

Датчики температуры, содержащие полупроводниковый термочувствительный элемент, известны. Однако такие устройства недостаточны точны, чувствительны, стабильны, надежны, а диапазон рабочих температур не очень высок.

Опйсыва-емое устройство отличается от известных тем, что в нем чувствительный элемент выполнен из антимонида алюминия. Это позволяет повысить чувствительность, точность, стабильность, надежность, линеаризовать температурную характеристику, расширить температурный диапазон, получить положительный и отрицательный температурные коэффициенты.

Посредством газотранспортных реакций выращиваются монокристаллы антимонида алюминия в виде игл и усов. Иглы получаются в сечении круглые, четырехгранные или шестигранные диаметром от 20 до 100 мк, усы диаметром от 1 до 20 мк. Длина получаемых кристаллов колеблется от 3 до 15 м.ч. Полученные кристаллы могут быть использованы в качестве термочувствительных элементов.

Из кристаллов, полученных по методу Чохральского, Степанова, при изготовлении термочувствительных элементов, неооходимы операции резки, шлифовки, травления, при которых значительная часть исходного материала идет в отход. При изготовлении термочувствительных элементов из кристаллов, выращенных методом газотранспортных реакций, надобность в этих операциях отпадает.

Перед приваркой контактов кристаллы травятся в травителе СР-4, промываются дпстиллированной водой, спиртом и сушатся.

Далее создание контактов к монокристаллам антимонида алюминия проводится методом импульсной приварки или методом конденсаторной сварки в атмосфере аргона.

Поверхность получаемых кристаллов идеально гладкая и не нуждается в добавочной обработке при получении приборов.

Предмет изобретения

Датчик температуры, содержащий монокристаллический полупроводниковый термочувствительный элемент с металлическими контакта.ми, отличающийся тем, что, с целью иовышения -чувствительности, точности, стабильности, надежности, расширения температурного диапазона, в не.м термочувствительный элемент выполнен из антимопнда алюминия.