ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ•:УТ~НД Советский патент 1972 года по МПК G01K7/22 

Изобретение относится к тепловым измерениям.

Известные приборы для измерения температуры, содержащие поликристаллические полупроводниковые чувствительные элементы на основе окислов, характеризуются недостаточными чувствительностью, воспроизводимостью, стабильностью, точностью и ограничен}1ым температурным диапазоном.

Предлагаемый датчик не имеет этих недостатков и отличается от известных тем, что его чувствительный элемент выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей 3- 5 aTOMJc.Hi.

Монокристаллические иглы и нити кремния получают по методу газотранспортных реакций (кристаллизацией из газовой фазы с помощью компонента-растворителя). Этот метод позволяет получить монокристаллы кремния более высокой чистоты по сравнению с исходным материалом, и в зависимости от технологических условий монокристаллы кремния различных диаметров и длин. Монокристаллы кремния, полученные этим методом, имеют форму правильного щестигранника, обладают зеркальной поверхностью, лищенной поверхностных дефектов, и не требуют донолннтельной механической обработки.

Малые габариты датчика (база 2-10 мм, диаметр 40-100 мм) улучшают динамические

свойства датчика. Эти датчики отличаются высоким сопротивлением (от 500 ом до 10 ком), концентрация примесей при этом соответственно будет равна S-lOis - 5-10i5 атом/см. Область рабочих темнератур составляет

-196г600°С, чувствительность - примерно в пределах 0,6-6% па градус. Допустимые токи для кремния 0,1 -1,0 ма.

Принципиально возможно получение монокристаллических нитей диаметром до 1 мк.

Сопротивление прибора может составлять несколько десятков кнлоом и более.

Предмет изобретения

Датчик температуры, содержащий полупроводниковый термочувствительный элемент и выводы, отличающийся тем, что, с целью повыщения чувствительностн, воспроизводимости, стабильности, точности, а также с целью расширения температурного диапазона, термочувствительный элемент датчика выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей 3 lOis - 5 101-5 атом/см.