КОНТАКТНОЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРКИ ПРИБОРОВ КОНТРОЛЯ ЛИНЕЙНЫХРАЗМЕРОВ Советский патент 1971 года по МПК G01B21/02 

Изобретение относится к контактным интерферометрам, исиользуемым для поверки контактных долемикрометровых головок и нриборов для измерения длины.

Известно контактное интерференционное устройство для поверки приборов контроля линейных размеров, содержащее корпус, расположенный на корпусе двухлучевой интерферометр, например интерферометр типа Кестерса с подающим стержнем, имеющим измерительную пятку и расположенным вдоль оптической оси интерферометра, подвижное зеркало, размещенное на подающем стержне, микроБинт, закрепленный на корпусе, рычаг, ось которого укреплена на корпусе и один конец которого упирается в измерительную пятку, а другой конеп которого связан с микровинтом.

Цель изобретения - повысить точность и обеспечить динамический режим поверки.

Это достигается тем, что устройство снабжено механизмом бокового перемещения в направлении, перпендикулярном линии измерения, выполнеино.м в виде пьезокерамического столбика с пневмосильфоном, кинематически связанным с корпусом, и отсчетного приспособления, двумя неподвижными зеркалами, расположенными в одной плоскости с подвижным зеркалом, симметрично относительно

него, и имеющими отрал ательпые повгрхноет;. направленные в ту же сторону, что и отражательная поверхность подвижного зеркала, а подающий стержень выполнен в виде пьезокерамического столбика, состоящего из пьезокорампческих элементов, каждый из которых соединен между собой одноименными полюсамп, при этом все положительные и отрицательные полюса элементов подключены к одноименным зажимам источника питания.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство.

Устройство содержит корпус (на чертеже не показан), расположенный на корпусе двухлучеъой интерферометр / типа Кестерса. по оптической оси которого расположено подвижное зеркало 2, размещенное на подающем стержне 3, на одном конце которого закреплена измерительная пятка 4, а другой упирается в рычаг 5, последний другим концом связан с микровинтом 6. Стержень 3 подвещен на плоских пружинах 7, укрепленных в коробке 8, с пяткой 4 соприкасается измерительный наконечник 9 поверяемой головки 10, укрепленной в ползуне 11, который расположен вдоль оси интерферометра. В одной плоскости с подвил ным зеркалом 2 и симметр 1чно по обе его стороны установлены неподвижные зеркала 12 и Jo, связанные с регулировочными винтами 14. Коробка 8 с помощью плоских пружин 15