ВСГСОЮЗНАЯ ПДТ?ЙТ!1П,-;;у»;.-;- <-^fБИБЛ'г- Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к устройствам для автоматической загрузки полупроводниковых кристаллов на операциях сборки полупроводниковых приборов, в установках для присоединения кристаллов и автоматических устройствах для укладки кристаллов в кассеты. Устройство может быть также применено в тех случаях, когда требуется поштучное отделение кристаллов от общего потока с возможностью точной фиксации их положения на лотке для дальнейшего автоматического манипулирования с ними.

Известны вибробункеры, лотки и тому подобные устройства, в которых для поштучного отделения деталей применяются различного вида отсекатели с механическим воздействием на детали (прижим деталей, трение детали о деталь и т. д.). Применение таких устройств для поштучного отделения хрупких деталей плоской формы (например, полупроводниковых кристаллов) невозможно, так как отсекатели, механически воздействующие на поверхности деталей, наносят им повреждения.

Цель изобретения - обеспечить отделение кристаллов без повреждения их поверхности.

обеспечивающем отсечение от потока одного кристалла при подводе вакуума в отверстие и отводе упора от лотка.

Подвижный упор и вакуумный присос

сблокированы между собой. Отсечение одной детали от потока осуществляется за счет того, что предыдущие детали удерживаются вакуумом. В результате повреждение деталей от механического воздействия отсекателя

исключается.

На фиг. 1 схематически показан вибробункер, вид сверху; на фиг. 2 представлены схемы поштучного отделения кристаллов.

Предлагаемый вибробункер состоит из чаши } с винтовым лотком 2, в котором выполнено отверстие 3, соединенное со штуцером 4. Лоток 2 прерывается подвил :ным упором 5, имеющим возможность поворачиваться на оси 6. Возврат упора 5 в первоначальное положение осуществляется пружиной 7.

На магистрали подвода вакуума к отверстию 3 расположен клапан включения вакуума, сблокированный с поворотом упора 5. Кристаллы насыпаются в чашу 1 и под действием вибрации поднимаются по винтовому лотку 2 до упора 5.