ЧЕТЫРЕХЗОНДОВАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕИИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1971 года по МПК G01R27/00 

Из10|бретбН|Ие 0Т1Н10|СИ|Т1Ся к области элСктро(И3 м е piHiTeл ыньк щрибор ав.

ИsiBeicTH ы ч еты|р ехзон/дав ы е ,И|3;мерит-ел ьиые головки для 0 Нределв:н;ия уделыного coHipioTHiBления иол у1п|раводн:нк10 вых материалов, налриме,р, дик})фуз1ио Н1НЫ:х или Э П1Ита1каиальных слосВ маЛОЙ площад1н, (содержагние л:И ней|но ил.и Мвадратаю ра;сноложенные с ммаш-ьмально возMO KiHbiiM боковым люфтом 1В нанравляющ.их, выПОл нениых в оппиче-скн неп1р1озраЧНО М эле:Ме1нте, несколько уп рути« зондав, не обеопсЧ1И1вают В03:мож;но.сти ненос1ред1СТ1ввн:нОГО наблюдения области и3:мерен ия со1П роти1Бле Н,ия образца.

В предлагаемой головке нап1равляюол,недля зо|НД1ав вы1НОЛ|Нены в Огптигаеоки н/розрач.ной немскажающей пластине, уста новленной в ноле зрения иЗимерительного микрО|С1коиа, центр снстемы зондов савпадает с оптической микроскопа, зажатые концы 31ондов путем излнба |И.ч раСПО:Л Оже1ны вне поля 3 ре1Н;Ия млкроскона, а ианравляющйе для зондов могут быть вы1Н1ОЛ1нены неп ОС1редстве;Н|;-ю в объектива.

Та:ко€ вы:пОЛ1намие позволяет наблюдать область нзме|рения соиротивления об(р.азца ,HeHoopie CTiB6HHO в процессе измаре Н1Ия.

или кольца, окружающего систему з ОНдов.

На ф|иг. 1 П1ред1ота1влбна олисьиваемая голав;ка с измарительньш iMHfKipiOCKOiHOM (частичный р,); иа фиг. 2 - варнант вылол нен,ия головми.

ПрО:3 рач|ная, оптически иеснскажающаЯ плаCTMiia / снабжена |На1П р а;в.тяющИ:МИ отверстняМ:И 2, в которых на стороне, обращепгной к Oi6разду 3, расположены опорпые камни 4, служащие для дост1ижения маленького боашвого люфта в направляющих зоцдо.в 5. В другом варианте иснолневдия (фиг. 2) наоравляющне (вьшолланы ,в линзе само-пообъектива микроокона. Зоиды 5 нроходят сперва па|раллельно осн 6 систомы зондов, котарая совнадает с оптической осью 7 измарительиого ми:кроско1П)а 8, а изгибаются под прЯ(МЫ1М в сторО1ну. Концы загнутых частей зондов 5 зажаты так, что пружинят. В ва1риа1нте, ноказанном на фиг. 1, зажий обеснечан силой сжатия, возникающей между оболочкой измерительной головки 9 и зажилгным кольцом 10, снабженlUbiiM паза:ми //. В варианте, по.казаагном на ф|иг. 2, зажим получается с П01мощью двух зажимных колец 12, 13, расноложанных в тубусе иэмерителыного миКроскоиа. В обоих вариантах необходимо копщы зондов зажимать так. чтобы их контактные острия став:ил,И|Сь упруго на образец и отстунали на расстояние, обеспечивающее пластине iC нашрав.тяющими отварСТИялГИ 2 Kacaii-iHc с образцом 3 или маск нрующим его слоем 14. Пр.и этом места заж:Има зондов 5 и их токовые вводы находятся вне ноля зрения .мгвкроокопа. Показан.ные на чертежах заГ|н:утые занды являются лишь возмож1НЫ|М BaipiiaiHTOM ианолнеимя; MO/KIHO также раонолагать зо|Нды над подходящим отнООнтелыно гор кв0 нтал« и itx концы заж1И мать в держателях, нод.вижашгх в вертикально1М нап|ра,вле|Н1Н1н с сохраяеннем лре боваагин о нахождении мест заЖ|Н1 юв зоидоз Bijie ноЛ|Я зре|;и Я и со;Внаде1н:ии центра системы зондов с . осью микрОСКОна. С целью навышвния точности юстнровки на маленьких онммет;рич ных об;раз|цах на стсфонс нластн-ны или Л1ШЗЫ, обраще:Н|НОЙ в образцу, .нанесена марка 15, например, в виде онтнческого neipe«.peСТ1НЯ, точка пересечения которого совладает с центром системы зондов, ил-н мар.киравочиого кольца, окружающего на очень небольшом расс,тоян1ин зонды 5. Онт.ичесюое нерек(реат1ие может находиться и в окуляре 16 иЗМерительного миироскона (н:а фиг. не показан).

Измерительная головка работает следующим образом; нере;мсщен1ием образца 3, наирвмер, с иамощью крестового 17, можно определить расстояене грамиц об1разца от онгического нерекчрестия. При этом расстоЯ|Ние Иоверхности образца от иластины 1 или ЛИ1НЗЫ объектива настолько мало, что изобрал ения новерхности образца и оптического нерекрест.ия ВКДНы в иоле зрегаия ,и31мер1ите1льного MiHKpOrCiKona нри небольшом у;вел1ичен:им еще достаточно резкими. Образец 3 неремещается в необходимое ноложение относителыно олтнческого перекрестия до измерения, иосле чего намерителыная головка онускается на образец. Освещен1ие и наблюдйние образца нроизводится через нластИ1ну 1 ил1И Л1инзу объектива, если та служ1нт телоа, в котором вынолнены наиравляющие отверстия для зондов. В последнем случае зонды 5 О1гускают1ся на образец перемещением тубуса микроскопа.

Таким образам, наблюдение за положением

образца во время измерений и юс;т ИрО13ка (регу;11ирОва/Н1ие) его положения перед измерением обеспечивает новышение точности измерения нутем за|да(И1ия корректурных факторов, за1вис:ящих от гео:метр1И1и образца и положен-ия

на нем.

П .р е д м е т изобретен и я

1.Четырехзондовая из .мер/ителытая головка для онрсделения удельного сопротшвлеиня полунр|0(водН|ИКОвых матерИалов, HanpiHiMep, диффуз1И101Нных энитакаиалыных слоев малой нлощад.и, содержащая односторон1не зажатые 301НДЫ, рааположенные с воэмож ностью скольжетня в иродолыно м нан|р.авле1НИ1и под действием сил упругости в иа;правляющ1И.х с малым боасовыш люфтом, отличающаяся тем, что, с целью нетооредствевного наблюдения области измерения сотротнвлания обр;азца, на-правляющП1е для 301Н1ДОВ выполнены в оптически nipoэрачиой паиокажающей пласти;не, устаповленной в ноле зрен1ия измеретелыного микроскоиа, )м центр аи1стемы 3|0ндов совпадает с оптической осью м,, а зажатые

канцы оутем И ЗПИба их расположены поля зр1ен1ия MHicipoicKona.

2.Головка по п. 1, отличающаяся тем, что направляющие для зондов выполнены непосредственно в объектива MiHiKpocKOna.

3. Головка по п. 1, 2, отличающаяся тем, что, с целью повышения точ( на ведения, на пластине, линзе со стороны образца нанесена марка, наирИмер, в виде оптического перекрестья, иелрозрачной точки или кольца, ок ружающего оистелпу 301НДО1В.