РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ НИКЕЛЯ И КОВАРА^•:~'^cз^;AR- •>&.,-•..•,: ,• •'Г.-'и 1:' •• :..,':;.:ШиЯД' Советский патент 1972 года по МПК C23F1/28 

Изобретение относится к области химичс ской обработки никеля и ковара и может быть использовано в электронной промышленности, приборостроении и радиопромышленности, в частности, для изготовления рамок выводов при нроизводстве интегральных микросхем и для изготовлен1 я деталей сложной конфигурации фотохимическим методом.

Известен раствор для травления никеля и ковара на основе хлорного железа.

Однако в известном растворе в процессе травления на новерхпостн образуется труднорастворимый шлам, который препятствует равномерному травлению, снижая скорость травления и качество поверхности.

Предлагаемый раствор отличается от из.честного введением в его состав азотной н уксусной кислот при определенном соотношенни компонентов, что нозволяет интенсифицировать процесс и обеснечить равномерное травление без образования шлама.

Предлагаемый раствор содержит хлорное железо, азотную и уксусную кислоту нри следующем соотношении компонентов, мл/л: хлорное железо450-490 г/л

азотная кислота

Пример. Прозодилось двустороннее травленне никеля в растворе следующего состава, мл:

хлорное железо

(уд. вес 1,38-1,4)500

азотная кислота

(уд. вес. 1,41)250

уксусная кислота

(уд. вес. 1,05)250

температуре 25-50°С. Скорость травления и неровность вытравленного края в зависимости от темнературы раствора представлены в таблице.

Предмет изобретения

3

тем, что, с целью интенсификацш- процесса ипри следующем содержании компонентов,

обеспечения равномерного травления без об-мл1л:

разования шлама, в его состав введены азот-хлорно железо450-490 г/уг

ная и уксусная кислоты.азотная кислота

2. Раствор по п. 1, отличающийся тем, чтоуксусная кислота

в него введены азотная и уксусная кислоты(уд. вес. 1,05)240-260

5(уд. вес. 1,41)240-260