Раствор для локального химического травления элюминия Советский патент 1977 года по МПК C09K13/00 

1

Изобретение относится к области радиотехники, а именно к технике создания элементов для сборки интегральных схем, и может Оыть использовано при локальном химическом травлении алюминиевого проката с полиимидного носителя.

пзвестен раствор для химического травления алюминиевых сплавов, содержащий ионы , n-t- и NOa.

UcHOBHbiM недостатком известного раствора является неооходимость в последующей оораоотке металла в 107о-ном растворе щелочи при 60С, что приводит к разрушению защитной резистивнои маски.

наиоолее олизким техническим решением к изооретению является раствор для химического травления алюминия, включающий хлорное железо и соляную кислоту, недостатком известного раствора является сравнительно оольшая величина бокового подтравливания алюминиевой фольги под участками, защищенными слоем фоторезиста, и неровность края рисунка.

Цель изобретения -повышение скорости и равномерности травления алюминия, а также уменьшение бокового подтравливания.

Это достигается тем, что раствор дополнительно содержит уксусную кислоту и глицерин при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлорное железо280-320

Соляная кислота

(уд. вес. 1,1Уг/см)20-40

Уксусная кислота (ледяная)3-9

Глицерин18U-240

ВодаОстальное

Ь предлагаемом растворе хлорное железо выполняет роль окислителя - активной составляющей, соляная кислота подавляет гидролиз хлорного железа и создает необходимое phi, уксусная кислота ооеспечивает равномерность края рисунка и минимальное боковое подтравливание, глицерин, как вязкостная добавка, позволяет регулировать время травления алюминия, обеспечивает полирующий эффект и получение ровного края травления,

Пример 1. Для получения раствора готовят три смеси компонентов, содержащих каждая, г/л; хлорное железо .00, соляную кислоту (уд. вес. 1,19 г/см) 0, глицерин 210, отли чающиеся друг от друга концентрацией уксусной кислоты, равной в каждой смеси последовательно 3, 6 и 9, а также содержанием воды, составляющей дополнительно до lU07o часть в каждой смеси. Каждую смесь готовят отдельно при растворением препаратов марки «чда в дистиллированной воде.

Полученные смеси характеризуются пара.метрами травления алюминиевой фольги, представленными в табл. 1.

Таблица 1

Пример 2. Для .получения раствора готовят три смеси компонентов, содержащих каждая, г/л: хлорное железо 300, соляную кислоту (уд. вес 1,19 Г/СМ) 30, уксусную кислоту (ледяную) 6, отличающиеся друг от друга концентрацией глицерина, равной в каждой смеси последовательно 180, 210 и 240, а также содержанием воды, составляющей дополнительно до 100% часть в каждой смеси. Каждую смесь готовят отдельно так же, как в примере 1.

Полученные смеси характеризуются параметрами процесса травления алюминиевой фольги, представленными в табл. 2.

Таблица 2

Данные табл. 1 и 2 получены при химическом травлении алюминиевой фольги толщиной 30 мкм с полиимидного носителя через фоторезистивную маску. Растворы не перемешивались, их температура - 20°С.

При концентрациях хлорного железа меньше 280 и больше 320 г/л скорость травления алюминия резко снижается, при концентрациях соляной кислоты меньше 20 г/л скорость травления невелика, а при концентрациях больше 40 г/л скорость процесса не зависит от концентрации кислоты.

Оптимальные концентрации дополнительных добавок следующие, г/л: уксусной кислоты 3-9, глицерина 180-240.

Изменение диапазона концентраций этих компонентов значительно влияет на скорость и равномерность травления алюминиевой фольги, величины бокового подтравливания элементов.

Формула изобретения

Раствор для локального химического травления алюминия с иолиимидного носителя, включающий раствор хлорного железа и соляной КНС.ЛОТЫ, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости и равномерности травления, а также уменьшения бокового подтравливания, он дополнительно содержит уксусную кислоту и глицерин ири следующем соотиошении компонентов, г/л: Хлорное железо280-320

Соляная кислота

(уд. вес. 1,19 г/см)20-40

Уксусная кислота (ледяная)3-9

Глицерин180-240

ВодаОстальное