КХЙЙЧЕСКАЯ ' S?ifi.7HOTEШГ Советский патент 1969 года по МПК C25F3/12 C25F3/02 C25F7/00 

Известно устройство для контролируемого струйного электролитического травления туннельных диодов, содержащее задающий генератор, генераторы тока Т|ра1вления и тока питаяия заготовок, коммутирующее и сигнальное устройства. В этом устройстве величина тока питания при работе травящейся заготовки на . диффуЗИОйной ветви характеристики задается отдельным генератором и практически не меняется ПО мере уменьшения тока максимума заготовки (При травлении.

Цредложенное устройство отличается тем, что генератор тока питания заготовки выполнен iB -виде релаксационного генератора, активным элементом .которого я-вляется сама травящаяся заготовка.

Это обеспечивает уменьшение тока минимума.

На чертеже приведена блок-схема устройства.

Оно состоит из задающего генератора / с эталонным диодом 2, которым определяется величина тока максимума заготовки 3 после окончания процесса травления; сигнального устройства 4, сравнивающего ток на выходе задающего генератора / с величиной тока максимума заготовки 3 .после отмывки последней в течение ци1кла измерения; источник 5 TOiKa травления; электромагнитных «латанов 6 и- 7, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и воды, поступающих соответственно через сопла 5 и Р; -коммутатора W и генератора 11 тока питания заготовки, вылолненного в виде релаксационного генератора, активным элементом которого является травящаяся заготовка.

Устройство работает следующим образом. После 3 amp узки заготовки и пуска устройства начинается цикл измерения. Ток на выходе

задающего генератора /, проходящий через заготовку 3, возрастает до величины тока максимума эталонного диода 2, установленного в генераторе. При этом заготовка отмывается водой, так как клагоан 7 открыт, и вода постулает через сопло 9. В колце цикла измерения происходит переключение эталонного диода на диффузионную ветвь характеристики, и если ток максимума заготовки больше тока максимума эталонного диода 2, сигнальное устройство не срабатывает, .и цикл травления повторяется.

В ходе цикла травления включен источник тока травления, обеспечивающий требуемый ток В спруе электролита, подаваемого через

сопло 8, так как клапан 6 открыт. При этом травящаяся заготовка 3, подключенная к генератору тока литания заготовки, работает при токе на диффузионной ветви, не превышающем ток максимума. Величина тока, проходящего

пряжения, до которого зарядится накопительная емкость 12 тенбратора. Процесс заряда этой емкости прекращается .после переключения заготовки на диффузионную ветвь. Это может .быть осуществлено до начала подачи электролита через сопло 8.

По окончании цикла травления ток на выходе генератора 1 падает до величины тока миМинума эталонного диода, и рабочая точка эталонного диода смещается на туннельную ветвь хара|Кте|ристики, что приводит к отключению источника 5 тока травления и генератора 11, |прбкращению подач-и электролита -при помощи электромагнитного кла-пана 6 и подключению сигнального устройства 4. Затем цикл измерения повторяется. Если ток максимума заготовки, сравниваемый с током максимума эталонного диода 2 в конце цикла измерения, больше тока максимума диода, то цикл травления повторяется, а если равен или меньще, то травление Прекращается, и при помощи Коммутатора 10 включается сигнал об Окончании процесса.

Предмет изобретения

Устройство для контролируемого струйного электролитического травления туннельных и

обращенных диодов по эталону, содержащее задающий генератор, генераторы тока травления и тока юитания заготовок, коммутирурощее и сигнальное устройства, отличающееся тем, что, с целью уменьшения тока минимума, генератор тока нитания заготовки выполнен в виде релаксационного генератора, активным элементом которого я-вляется сама травящаяся заготовка.