РЕНТГЕНОВСКИЙ СПЕКТРОМЕТР Советский патент 1972 года по МПК G01T1/36 G01N23/00 

Изобретение относится к физическим приборам для исследования вещества по элементному составу и может быть использовано для непосредственного измерения спектрального распределения излучения рентгеновской трубки.

В известных приборах для рентгеноспектрального анализа положение рентгеновской трубки и подавателя образцов фиксируется. Это позволяет, в частности, определять поверхностную плотность (толщину) тонких пленок, используя стандарты, т. е. пленки известных толщин.

Предлагаемый рентгеновский спектрометр с устройством, осуществляющим поворот образца и рентгеновской трубки на заданные углы, позволяет определять поверхностную плотность пленок без стандартов, например, измерением отношения интенсивности флуоресценции от пленки и массивного образца из материала пленки при двух различных углах выхода излучения и сохранении угла падения первичных лучей на образец.

Такой способ измерения осуществим лишь в спектрометре, в котором одновременно и независимо поворачиваются как держатель образца, так и рентгеновская трубка.

Кожух /, в котором находится рентгеновская трубка 2, жестко соединен со щекой 3, подвижно связанной со втулкой 4, и со щекой 5, неподвижно соединенной с полуосью 6. Полуось 6 охватывается втулкой 7 и через зубчатую передачу, состоящую из зубчатого колеса 8 и вала-шестерни Р, соединена с рукояткой 10.

Для измерения угла падения первичных

рентгеновских лучей рентгеновская трубка 2 поворачиваться вокруг оси О-Oj, при этом щека J скользит по втулке 4, а полуось 6 - по втулке 7.

Пз вертикального положения трубка может

повернуться по часовой стрелке до горизонтального положения и обратно, а также против часовой стрелки на 30° и обратно. Таким образом, рентгеновская трубка поворачивается относительно образца на 120 с помощью рукоятки 10 через вал-шестерню 9 и зубчатое колесо 8, жестко соединенное с полуосью 6.

После поворота трубка фиксируется фрикционным зажимом 11. Угол поворота трубки отсчитывается по лимбу, нанесенному на зубчатое колесо 8.

Образец 12, вставленный в держатель 13, вместе с последним может поворачиваться вокруг оси О-Oi на любой угол. Имеются фиксатор 14 угла наклона держателя и лимб 15

При отсутствии образца излучение рентгеновской трубки, повернув ее в горизонтальное ноложение, направляют в коллиматор, следовательно, описанный спектрометр может быть использован для измерения спектрального распределения первичного излучения рентгеновской трубки.

Предмет изобретения

Рентгеновский спектрометр, предназначенный для измерения поверхностной плотности

плоских тонких пленок методом безэталонного рентгеноспектральнаго анализа, содержащий рентгеновскую трубку в кожухе, держатель образцов, кинематическую схему фокусировки и электрическую схему регистрации излучения, отличающийся тем, что, с целью расширения возможностей анализа, спектрометр снабжен ш,еками с жестко закрепленными в них кожухом рентгеновской трубки, подвижно соединенными с основанием спектрометра через втулки, одна из которых неподвижно соединена через полуось, снабженную лимбом, с рукояткой, на оси которой установлен фиксатор.

5-6

Фиг 1

А-А

(. инца&ь1 1 экран