УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Советский патент 1972 года по МПК G01R27/26 

Изобретенне относится к радноэлектроинои технике и может быть использовано в отраслях нромышленностн, выпускающих и исиользующих диэлектрические пленки.

Известные устройства для измерения параметров тонких диэлектрических пленок, например диэлектрической проницаемости и Iaiirenca потерь, содержащие два электрода с расноложенной между иимн ) пленкой, имеют невысокую точность измерения.

Целью изобретения является устранение этого недостатка.

Поставленная цель достигается тем, что рабочая поверхность одного нз электродов нокрыта слоем токопроводящей резины, а рабочая поверхпость другого выполнена в фор.ме выпуклого щарового сегмента.

Па чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Пзмеряе.мый образец пленки / помеол,ен между нижним электродом, представляющим собой пластину 2 из токопроводяще резины, закреплеппую на металлической подложке 3,

и верхни.м металлическим электродом 4, рабочая новерхность которого имеет сферическую форму. Подложка иомещается в паз изоляционной прокладки 5, а верхний металлический электрод 4 закреилен на щтоке 6, на i5epxi:eN конце которого установлена ручка 7. Калиброванная пружина 8 обесиечивает 1;с(;Г) давленне между электродами. П-С детали усгроПстна c iOHTHpoi a;ii)i на (-)о11и1 пннн 9.

П р е д м е т и з о б р е т е и и я

Устройство для измерен 1я иараметров тоикнх диэлектрнческнх нленок, наирнмер диэлектрнческоГ ироипцаемости и тангенса угла потерь, содержаи1,ее два электрода с расположенной между ними измеряемой нлеикой, о --1ичаю1цссся тем, что, с целью иовьииення точностн измерения, рабочая поверхность одного из электродов иокрыта слоем токоироводящей резины, а рабочая поверхность другого выполнена в форме выпуклого шарового сегмента.