УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИИ ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ Советский патент 1972 года по МПК G01L1/22 G01B7/16 

Изобретение относится к области измерительной техники.

Известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца, помещаемого в ванну с реактивом и закрепляемого в располагаемом над ванной приспособлении для его крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого судят о толщине стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру.

В известных устройствах толщина стравленного слоя определяется с помощью прибора, выполненного в виде рычажной системы с двумя плавающими щупами, контактирующими с образцом, и позволяющего производить измерения через определенные промежутки времени при перемещении образца из одного крайнего положения в другое. Приспособление для крепления образца, расположенное над ванной, подвещивается к кронштейну, устанавливаемому около ванны.

Недостатком известного устройства является невысокая точность измерения вследствие того, что они не обеспечивают непрерывный замер изменения толщины стравливаемого слоя.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что в качестве прибора, по показаниям которого судят о толщине стравливаемого слоя, использованы аналитические весы, к одному из плеч коромысла которого, располагаемому над ванной, подвещивается приспособление для крепления образца, а устройство снабжено фотокиноприставкой, фиксирующей показания щкал приборов.

Это позволяет повысить точность измерения, так как обеспечивает непрерывное измерение изменения толщины стравливаемого слоя и одновременную регистрацию всех интересующих параметров.

На чертеже изображено оп1исываемо-е устройство.

На :Повор|ОТ нОМ стол-е 1 иаходя-тся ваина 2 с водой и ванна 3 с реактмвом. Над ванной с реактивом устанавливаются а1на.ггит1и чески е весы 4, к норомыслу которых через нить 5 .подвещивается Обр1азец 6, снабженный датчиком 7 деформации, сигнал с которого поступает на регистрирующий лрибар 8, и счетчик 9 времени. Одновременная регистрация шкалы аналнтиЧеских весов, измерителя 1дефо1р;мации и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 10.

Устройство работает следующим образом. Перед началом цроцесса тра1вления лодвещенный к коромыслу -аналитичесших весов образец, снабженный датчиков деформации, онускается в щанну с водой « уравновещивается. Затем въодится поправка с учетом разности удельных leeooB воды IK реактива, после чего -образец оцускают в ванну с реактивом и

включают TOiK. В лроцеосе травления ofipiasua праизБодится одновремвн-ная регистрация изм.енеиия деформации образца, толщины стравлениопо (СЛОЯ и времени травления, п-о в еличрине иофорых (судят об остаточных напряжениях.

Предмет изобретения

Устройсшо для измерения остаточных налряжен1ий при непрерывном травлении образца, поад-ещаемого в в айну с реактивом и за1крепляем1ого в располагаемом над ванной

приспособлении для его крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по -показаниям KOTOiporo судят о толщине €тра1вливаем 0го слоя, и регистрирующую аппаратуру, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измфения, в качестве прибора, по показаниям которого судят о толщине стра1вливаемого слоя, использованы аналитические весы, к одному из плеч кор1омысла которого, располагаемо:му «ад ванной, подвешивается лриспоооблевие для юр:епления образца, а устройство снабжено фотоки1нопр1иста1вкой, ф|Иксирующей показания шкал прибо1р ов.