Устройство для измерения остаточныхНАпРяжЕНий пРи НЕпРЕРыВНОМ ТРАВлЕНии Советский патент 1981 года по МПК G01L1/22 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для измерения- остаточных напряжений при непрерывном травлении образцов. По основному авт.св. № 330360 известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерьюном. травлении, используемое для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца, помещаемого в ванну с реактивом и закрепляемого в расположенном над ванной приспособлений: для крепления, содержащее датчик деформации, прибор по показаниям которого судят о толщине стравливаемого слоя, и регистрирукщую аппаратуру. Для определения толщины стравливаемого слоя, используются аналитические весы, ,к одному из плеч коромысла которых, ра полагаемых над ванной, подвешивается приспособление для крепления образца а устройство снабжено фотокиноприставкой, фиксирующей показания шкал приборов l . Недостатком данного устройства является погрешность измерения, связанная с увеличением веса нити в процессе ее выхода из жидкого реактива . при непрерывном взвешивании травящегося образца. Поскольку в площадь нити включаются провода тензодатчика с экранирующей изоляцией свидетельствующего о деформации образца, а в случае электрохимического травления так же включается и провод питания гальванической ванны, при этом погрешность измерения, связанная с выходом на поверхность электролита указанной системы подвески, может быть недопустимо большой при исследовании тонких слоев образца. Цель изобретения - повышение точности измерения. Эта цель достигается тем, что в . устройство введена дополнительная ванна с реактивом, сообщенная канало с основной, при этом между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режима ми травления. На чертеже изображено устройство, общий вид. На поворотном столе 1 находится ванна 2 с водой и сообщающиеся ванны 3 с реактивом, снабженные заслонкой 4, и шкала 5. Над ванной с реактивом устанавливаются аналитически весы 6, к коромыслу которых через ни 7 подвешивается образец 8, снабженный датчиком 9 деформаций, сигнал с которого поступает на регистрируннций прибор 10 и счетчик 11 времени. Одно временная регистрация шкалы аналитических весов, измерителя деформации и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 12. Устройство работает следующим образом. Перед началом процесса травления подвешенный к коромыслу аналитически весов образец, снабженный датчиком деформации, опускается в ванну с водой и уравновешивается. Затем вводит сй поправка с учетом разности удельных весов воды и реактива, после чего образец опускают в основну ванну с реактивомJ уровень которого ниж 4 уровня дополнительной ванны. Включением тока начинают процесс травления и одновременно открывают заслонку сообщающихся ванн, устанавливая ее в соответствии с выбранным током скоростью травления , что определяется пред варительной градуировкой. В процессе травления образца регистрируется деформация образца, то:пщина стравленного слоя и время травления. По этим данным производят расчет остаточных напряжений. Формула изобретения Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении по авт.св. № 330360, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения в него введена дополнительная ванна с реактивом, сообщенная каналом с основной, при этом.между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режимами травления. Источники информации, принятые во внимание При экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР №330360, кл. G 01 L 1/22, 27.04.70 (прототип).