Э. П. ЗОЛОТОЕ и Г. А. ЛивенскийnATEiUHO"Vai;:r'^'PP:^ Советский патент 1972 года по МПК B24B37/04 

Изо1бретение относится к теянолошии изготовлеиия ТОН1КИХ плоакопараллелыных кварцевых пластин и может быть использовано в различных отраслях промышленности, в частйости в электроиной и радиотехнической при изготовлении пьезоэле.ментов вьисокочасто.БНЫХ и прецизионных кварцевых резонаTOpiOB.

Известны способы одностороннего полирования плоскопараллелвных пластин, закренленяых различными iCnoco, на стеклянных плоской ар аллельных колодках, когда 1ПрИ1ме1Н1Яю тся полировалыпики из шер.сти в виде суина, фетра, войлока или из пекоканифольдых смол. Оти дают высокую производительность процесса полирования и широко применяются при ручных операциях. При STOIM поверхность получается слегка волнистой со значительными завалами на краях пластин.

1При полировании поверхностей с онтической точностью пр1им-еняют смоляные полировалынвки, Ч|То связано со значительными затратами ручного труда К1валифицированных 01ПТИКОВ и низкой производительностью.

Однюстороннее пoлиp0iвaниe тонких юварцевых пластин связано с деформациями пластин, вызываемыми нарушением си1м,метрии распределения напряжений по толшине пластин, блокировкой, аси1М|Метрией теплового потока, а также с трудностью получения толШ.ИНЫ пластин с высокОй точностью-.

Цель Изобретения состоит в разработке вьКсоколроизводительного способа двустороннего полирования тонких кварцевых пластин в свободном состоянии при высокой точности

и качестве обработки плоскопараллельных поверхностей. Это достигается тем, что полирование тончоих кварцевых пластин, установленных в отверстиях свободной или радиально растянутой кассеты, ведется на эксцентрИ|КО;вых станках между двумя ра.бочими поверхностями верхнего и нижнего кольцеобразных полировальников, выполненных из капроновой ткани типа « 3олонья толщиной 100-200 мкм, предварительно выдержанной

в дистиллированной воде при 22-25°С и натянутой посредством внутреннего и наружного колец из латуни толщиной стенки 1,5 мм на отполированный с оптической точностью тореЦ стеклянного кольцеобразного диска

тол;щиной 10-200 мм, наружным диал-штро 105--130 мм и внутренним 60-70 мм.

Полирование ведется с применением 10% крокусной суспензии при удельном давлении 60-80 г/ом и скорости 0,08-0,3 м/с.ек.

Благодаря тому что капроновая ткань выполняется с высокой точностью по толщине, износостойка, неворсиста и не имеет npoiMeжуточного клеевого слоя, форма отполированного торца кольцеО|бразн6го стеклянного

ника и удобную замену калроноВОЙ ткаии без после1а,ующей трудоемкой- правки рабочей поверхности полировашыника.

Микроструктура катрановой ткани обеюпечивает хорошие уславия для подвода полировальной суспенз.ии к поверхности KiBapЦеВ;ОЙ пластины и отводу продуктов СНОЛИравываеия по поверх1ности полировальника. Дости(гае,мая при этом неплоскостность нварцевой пластины не хуже 0,1 мкм.

Предмет изобретения

Способ двустороннего полирования тонких кварцевых пластин на станках эмсцентрикоВО1ГО ти1па с использованием полировальников иа основе ткани и крокуоной суспензии, отличающийся тем, что, с целью улучшения чистоты и точности обработки 1Пове,рхностей пластин, в качестве материала полировальников применяют капроновую ткань типа «Болонья толщиной 100-200 мкм, процесс полирования ведут при удельном давлении полировальников, равном 0,060-0,080 /сг/сж, со скоростью вращения их относительно обрабатываемых пластин, равной 0,08-0,3 м/сек, и 1при использовании: 10% крокуоной суспензии.