СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО РАЗМЕРА ПРЕЦИЗИОННОГО ЭТАЛОНА Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 G01B11/02 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.

Известен способ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного прибора, заключающийся в том, что эталон притирают к образцовой стеклянной пластине. Затем устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интерференционным полосам расстояние от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины.

При этом считают, что плоскость притертой поверхности эталона и свободная поверхность пластины или лежат в одной плоскости, или плоскость эталона выше поверхности пластины на толщину адгезионного слоя между притертыми поверхностями.

В связи с этим вносится поправка на толщину слоя и для оценки качества притирки. Однако известно, что при различных притирках толщина адгезионного слоя изменяется в пределах 0,03-0,15 мкм. Измерение толщины адгезионного слоя практически исключено в процессе аттестации меры на интерферометре, поэтому внесение дифференцированной поправки на размер в зависимости от конкретной притирки меры также исключается.

Таким образом, при аттестации мер имеется погрещность измерения, обусловленная неопределенностью толщины слоя смазки и качеством притирки, так как не производится измерение положения притертой поверхности меры относительно свободной поверхности стеклянной пластины, к которой притерта мера.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения.

Для этого устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора, определяют по интерференционным полосам расстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины и определяют размер эталона как алгебраическую сумму расстояний от свободной и притертой измерительных поверхностей эталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины.

Предлагаемый способ поясняется чертежом и осуществляется следующим образом.

Образцовую стеклянную пластину / с притертым к ней эталоном (мерой) 2 устанавлиливают на столик 3 интерференционного прибора, например интерференционного компаратора, образцом вверх и определяют по интерференционным полосам расстояние /i от свободной измерительной поверхности эталона (меры) до свободной измерительной поверхнонавливают пластину с образцом так, чтобы эталон был внизу.

Монохроматический свет проходит через стеклянную пластину на плоскость эталона. При этом получают две системы интерференционных полос: одну-на притертой поверхности эталона, другую - на свободной измерительной поверхности стеклянной пластины. По взаимному положению интерференционных полос определяют расстояние /2 притертой поверхности эталона относительно свободной измерительной поверхности пластины. Это позволяет определить точно размер L эталона как алгебраическую сумму размеров:

L /l + /2.

Таким образом, размер эталона (концевой меры) определяется на интерференционном приборе-компараторе как алгебраическая сумма расстояния от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности стеклянной пластины и расстояния от притертой поверхности эталона до той же свободной измерительной пластины.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность аттестации концевых мер первого и второго разрядов, практически устранить расхождение размеров при аттестации мер на интерференционном компараторе и контактном интерферометре.

Предмет изобретения

Способ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного прибора, заключающийся в том, что притирают эталон к образцовой стеклянной пластине, устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интерференционным полосам расстояние от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора,

определяют по интерференционным полосам расстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительпой поверхности пластины и определяют размер эталона как алгебраическую сумму расстояний от свободной

и притертой измерительных поверхностей эталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины.

///////////////////

/1