Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам, предназначенным для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках.
Известны датчики для бесконтактного пзмерепия концентрации носителей тока в полупроводниках, в которых исследуемый образец помещают во взаимоперпендикулярные катушки возбуждения и индикации.
Недостатки этих датчиков - сложность и трудоемкость измерительных операций, малая оперативность.
С целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены исследуемых образцов без отключения датчика от измерительной аппаратуры индикационная катущка выполнена в виде держателя с коаксиальными кабелями, а катущка возбуждения - в виде съемной части датчика с контактной колодкой.
На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый датчик; на фиг. 2 - катущка возбуждения.
Исследуемый образец / помещают внутри катущки 2 для индикации размерного резонанса геликонных волн с обмотками 3, прикрепленной к держателю 4, в котором проведены коаксиальные кабели 5 и 6 для подключения индикационной катущки и контактов соединяющего разъема / к измерительной аппаратуре.
Съемная часть датчика содержит катушку 8 для возбуждения размерного резонанса геликонных волн в образце с обмоткой 9 н контактную колодку 10 с контактами 11 для подключения возбуждающей катуапчн.
При измерении концентрации носителей тока на катушку 2 с образцом надевают катущку возбуждения 8, подключаемую с помощью контактов 7 и // к кабелю 6. Затем датчик помещается в магнитное поле так, чтобы плоскости обеих катушек 2 и 8 были параллельны направлению индукции магнитного ноля.
изобретения
Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, содержащий образец, помещенный в скрещенные катушки индуктивностн, отличающийся тем, что, с целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены нсследуемых образцов без отключения датчика от измерительной аппаратуры, индикационная катушка выполнена в виде держателя с коаксиальными кабелями, а катушка возбуждения выполнена в виде съемной части датчика с контактной колодкой.
9 ВL,f
77
