ДАТЧИК ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение относится к полупроводниковой технике.

Известны датчики для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, содержащие две взаимно перпендикулярно расположенные катушки индуктивности, между которыми помещается образец. Одна из катущек (входное устройство) служит для возбуждения, а другая (выходное устройство) индикации размерного резонанса геликоновых волн в исследуемом образце.

Недостатком таких датчиков является ограниченность нижнего предела из.меряемых концентраций, что обусловлено ограниченностью верхнего частотного диапазона датчика. Частотный диапазон ограничивает длину геликоновой волны IB образце и для измерения малых концентраций носителей тока требуется значительное увеличение размеров измеряемых образцов. Кроме того, при смене образцов необходимы отключение измерительной аппаратуры, демонтаж, сборка и регулировка датчика.

Целью изобретения является значительное расщирение диапазона измеряемых KOHHCiiтраций носителя тока:.

Эта цель достигается благодаря том}, что датчик содержит две полосковые линии передачи, расположенные взаимно 1перпендикулярно и позволяющие использо15ать частотны: диапазон от сотен мегагерц до пссколькнх мегагерц. При этом длины геликоновых волн в образце составляют около миллиметра, что обеспечивает исследование образцов малых размеров, так как в исследуемых образцах больших размерах распределение концентрации носителей тока по объему часто не бывает равномерным, поэтому 1 змеренные величины дают картин} интегральной концентрации.

В случае лшяых исследуемых образцов измеренные значения более близки к локальной концентрации. Смена образцов в датчике осуществляется легко и быстро, благодаря наличию в одной из нолосковых линий сдвигаемой части.

На чертеже схематично показан предложенный датчик.

Исследуемый образец 1 помеща1ется в отверстие в центре металлического корпуса 2. Bcj.xняя посеребренная полоска - входное устройство 3, к которой присоединен центральный прсвод входного кабеля 4, приклеена к диэлектрической пластинке 5. Подвимчн-ая деталь 6 входного устройства, к которой приклеена посеребренная полоска 7, отодвигается в сторону. Свободный конец полоски 7 с помощью металлической оси 8 подключен к корпусу 2 для обеспечения высокочастотного тока во входном устройстве вблизи исследуемого об