Изобретение касается нанесения вакуумных покрытий.
В известном графитовом нагревателе подложек, содержащем пластину и электроды, не обеспечивается постоянная температура поверхности пластины, что снижает производительность вакуумной установки.
Цель изобретения - обеспечение постоянной температуры поверхности пластины.
Это достигается тем, что пластина соединена с электродами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.
На чертеже представлен предлагаемый нагреватель, общий вид.
Нагреватель состоит из -пластины / и электродов 2, соединенных с пластиной посредством металлических проводников 3, общая площадь поперечного сечения которых меньще площади .поперечного сечения пластины.
Электроды 2 зажимают в держателях токопроводов вакуумной камеры. Отношение площадей поперечных сечений пластины 1 и проводников 3 составляет 35 : 1. Материал металлических проводников выбирают из расчета получения тока, необходимого для нагрева пластины / с учетом токового нагрева самих проводников при минимальном их сечении. Торцы пластины / покрывают медью в целях обеспечения жесткого соединения их с проводниками методом пайки высокотемпературным припоем.
Предмет изобретения
Графитовый нагреватель подложек, содержащий пластину и электроды, отличающийся тем, что, с целью обеспечения постоянной температуры поверхности пластины, последняя соединена с электро;;ами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньще площади поперечного сечения пластины.
3
