ВСЕСОЮЗНАЯ I Советский патент 1972 года по МПК G01L23/10 

Изобретение может быть использовало для контроля и измерения вакуума.

Известен способ измерения вакуума по добротности резонансной характеристики колебательного контура, образованного объемом, в котором измеряют вакуум, и ультразвуковым датчиком. Пьезоэлемент датчика на. под воздействием синусоидальной силы, а ток, текущий в электрической эквивалентной с.хеме пьезоэлемента, - под воздействием гармонического нанряжения.

Известный способ не обеспечивает высоко точности и безынерционности измерения при давлении мм рт. ст.

Предложенный способ отличается от известного тем, что производят амплитудно-частотную модулянню колебаний ультразвукового датчика, благодаря чему повышается чувствительность п безынерционность измерения вакуума.

Способ ноясияется чертежом.

И мпульс110-частотно-модулированные колебания, предназначенные для возбуждения ньезоэлемента и нолучения постоянной амплитуды во время измерения вакуу.ма при ннзки.х температурах, вырабатываются совместно генератором синусоидальных колебаний / и соединенным с ним линией связи 2 генератором Пилообразных колебаний 3, пилообразные колебання которого, кроме годуляции, обеспечивают синхронную работу схемы. Генератор синусоидальных колебаний через линию связи 4 возбул :дает упругие колебания однолииейного актнвного ультразвукового датчика 5, колеблющегося на своей резонансной частоте. А.мплнтудно-частотпая хар актер нстика этого датчика имеет определенную длительность при постоянной амплитуде и резонансной частоте

датчнка.

Длительность амплитудно-частотной характернстикп завпснт как от электромеханнческнх постоянных датчпка, так и от акустических параметров среды, в данном случае нлотности (вакуу.ма) среды. Амплитудно-частотный сигнал с изменяемой длнтельностью поступает через лин1:ю связи 6 в усилитель 7, усиливается и через линию связи 8 проходит на демодулятор У. Огибающая имнульсно-частотных колебаний после демодуляции через лннпю связи 10 поступает на нуль-индикатор 11, соединенный лн1Н1ей связи 12 с генератором опорного напряження 13. Нуль-нндикатор с генератором опорного нанрял ения преобразуют длительность огибающей и.миульсно-частотно-модулированных колебаний в фнксированный интервал временн.

возбуждения, последний генерирует электромагнитные колебания высокой частоты, которые заполняют интервал времени. Генератор 15 через линию связи 16 соединены с генератором пилообразных колебаний, который синхронизирует его работу, а через линию связи 17 - со счетчиком импульсов 18. Одиовременио через линию связи 19 с генератора пилообразных колебаний сигнал синхронизации подается на счетчик имнульсов. Со счетчика импульсов сигнал через, линию связи 20 поступает на индикатор 21, информация с которого

может или регистрироваться записывающим устройством, или наблюдаться визуально.

Предмет изобретения

Способ измерения вакуума по длительности резонансной характеристики колебательного контура, образованного объемом, в котором измеряют вакуум, и ультразвуковым датчиком, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и безынерционности измерения, производят амплитудно-частотную модуляцию колебаний ультразвукового датчика.