СПОСОБ ПРЕЦИЗИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ Советский патент 1972 года по МПК C25F3/02 H05K3/08 

Изобретение относится к способам производства печатных плат.

Известный способ прецизионного травления печатных схем, заключающийся в том, что пробельные участки схемы удаляют химической обработкой, например, в растворе хлорного железа, не обеспечивает постоянной скорости травления, позволяющей осуществлять управление процессом.

Предлагаемый способ не имеет этого недостатка и отличается от известного тем, что предварительно перед проведением химической обработки пробельные участки схемы подвергают электрохимической обработке в травильном растворе на основе фосфорной кислоты.

В растворе, состоящем из чистой концентрированной фосфорной кислоты (уд. вес 1,7) или с добавкой н-бутилового спирта 20- 200 мл/л, удаляется электролитическим способом основное количество меди. Скорость растворения меди, например, при напряжении 6 в постоянная (1,6 мкм/мин) и не зависит от срока использования раствора. Состав раствора в течение процесса не меняется, медь в виде ионов накапливается в растворе только до 12 г/л, остальное количество меди выделяется на катодах в виде металлической меди, откуда она время от времени отделяется. Предлагаемый- электрохимический травильный раствор требует только дополнения объема ввиду уноса электролита. Раствор не оказывает разрущающего воздействия на защитную пленку эмульсии или -фоторезиста, используемую в качестве маскн в процессе травления. Травление заканчивают химически в известных растворах хлорного железа (уд. вес 1,3-1,4) в течение 1 мин. Сокращение времени химического травления позволяет вести процесс под визуальным наблюдением, вовремя заканчивать его и избегать тем самым подтравливания проводников, а сэкономить химикаты для травления и собирать вытравленную медь.

Предмет изобретен и я

Способ прецизионного травления печатных схем, заключающийся в том, что пробельные участки схемы удаляют химической обработкой, например, в растворе хлорного железа, отличающийся тем, что, с целью обеспечения постоянной скорости травления, позволяющей осуществлять управление процессом, предварительно перед проведением химической обработки пробельные участки схемы подвергают электрохимической обработке в травильном растворе на основе фосфорной кислоты.