Интерферометр для контроля качества оптических поверхностей Советский патент 1984 года по МПК G01B9/21 G01B11/24 G02B9/04 G02B11/02 

2. Интерферометр по п.1, о т л и- ковьшуклой линзы и мениска, обращенчающийся тем, что объектив ного вогнутостью к двояковыпуклой первой ветви вьтолнен в виде двоя- линзе.

1104362

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снаб жен последовательно расположенными за микрообъективон прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива. СП

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности при контроле качества оптических поверхностей.

Известен интерферометр Физо для контроля качества плоских поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического света, линзу, диафрагму и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, окуляр, объектив и клиновидную образцовую пластину .

Недостатком интерферометра является низкая точность контроля.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интерферометр для контроля качества ,оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемеат, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во вто рой ветви 2j.

Недостатком известного интерферометра является невысокая точность. контроля из-за одноразового отражения волнового фронта от контролируемой поверхности.

Целью изобретения является повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем что интерферометр для контроля качества оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагм

и регистратор, расположенные во второй ветви, снабжен последовательно расположенными за микрообъективом прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.

Кроме того, объектив первой ветв выполнен в виде двояковьтуклой линзы и мениска, обращенного вогнутостью к двояковыпуклой линзе.

На чертеже изображена оптическая схема интерферометра для контроля качества оптических поверхностей.

Интерферометр содержит монохроматический- источник 1 света, телескопическую систему 2 и светоделитель 3, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив 4, прямоугольн призму 5, объектив 6, сферическое зеркало 7, установленное так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива 6, опорный оптический элемент 8, плоское зеркало 9, голограмму 10, объектив 11, диафрагму 12 и регистратор 13.

Объектив 6 может быть выполнен в виде двояковыпуклой линзы 14 и мениска 15, обращенного вогнутостью кдвояковьтуклой линзе 14.

Описываемый интерферометр работает следующим образом.

Предварительно производят запись голограммы 10: пучок лучей от монохроматического источника 1 света расширяется телескопической системо 2 и разделяется светоделителем 3 на два пучка. Один пучок собирается микрообъектийом 4 на поверхности призмы 5 в фокальной плоскости объектива 6, преобразуется объективом 6 в параллельный пучок, отражается от поверхности опорного оптического элемента 8 и собирается объективом 6 в центре кривизны зеркала 7. Отра

3 1104362

эившись от зеркала 7, пучок проходиткачестве зеркала 9 используются плоссвой путь в обратной последователь-кие пластинки с различными покрытияности и попадает на голограмму 10.ми. На голограмму 10 попадает, отразившись от зеркала 9, вторая часть пуч-5 Повышение точности контроля в опика, где и интерферирует с первой.сываемом интерферометре достигается После фотопроцесса на место опорнойза счет двойного отражения волнового поверхности оптического элемента 8фронта от контролируемой поверхности, устанавливают контролируемую поверх- Поэтому в наблюдаемой интерференциность и производят ее исследование. онной картине заложена удвоенная

При контроле поверхностей с раз- . ошибка контролируемой поверхносличными коэффициентами отражения вти.