Изобретение отиосится к области контрольных исиытаиий и иредназиачено для проверки плоскостности прозрачных деталей.
Известные способы контроля плоскостности ирозрачиых объектов интерференционным методом либо не позволяют избавиться от паразитных интерфереиционных картин, обусловленных отражением высококогереитпого света от противоположной контролируемой поверхности детали, либо требуют применения сиециальиых иммерсионных жидкостей, что пе всегда возможно.
Цель изобретения - выделеиие интерференционной картины, соответствующей контролируемой поверхности.
Цель достигается тем, что по предлагаемому способу для подавления паразитных интерфереиционных картии используют угловую вибрацию иадаюидего на коитролируемую деталь светового пучка.
На чертеже схематически изображено устройство для контроля плоскостности прозрачных деталей, позволяющее реализовать предлагаемый способ.
Свет от высококогерентного источника /, например газового лазера, коллимируется коллиматором 2 в пучок необходимого сечения и системой зеркал 3, 4, 5 направляется па интерференционный узел, состоящий из стеклянной детали 6 с эталонной нижней поверхностью и проверяЬмой детали 7 с контролируемой верхней поверхностью. На матовом экране 8 наблюдают интерференционную картину, которая образуется в результате взаимодействия лучей, отраженных от эталонной и контролируемой поверхностей. Одиако на иолезную интерференционную картину наложен ряд паразитных, вызванных интерференцией лучей, отраженных от верхней и нижней поверхностей проверяемой деталп, от эталонной поверхности и нижней иоверхностн детали 7 и т. д., в результате чего расшифровка полезной интерференционной картины сильно затруднена н не всегда возможна.
Если задать падающему пучку угловые колебания с .периодом, меиьшим постояиной временн приемника световой энергии (например, 1/25 cet; при наблюдении глазом), то интерференционные картины начинают размываться, причем тем сильнее, чем больше разность хода между интерферирующими . Цри изменении разности хода за один период колебаний больше, чем на половину длины световой волны, интерференционная картина совсем исчезает. При плавном увеличении амплитуды колебаний в первую очередь проиадают иаразитные интерференционные картины, обусловленные большой разностью хода; размытие полезной интерференционной
разность хода образующих ее лучей во много раз меньше, чем у остальных; после этого расшифровать интерференционную картину обычными методами не лредставляет затруднений.
Предмет изобретения
Способ контроля плоскостности прозрачных деталей, основанный на интерференционном методе иолос равной толщины с применением источника монохроматического света, ианример лазера, отличающийся тем, что, с целью выделения интерференционной картины, соответствующей контролируемой поверхности, контролируемую поверхность располагают
вблизи эталонной поверхности на расстояний, значительно меньшем толщины проверяемой детали, наблюдают сложную интерференционную картину, затем возбуждают в плоскости
падения света угловые колебания коллимированного светового пучка, направляемого на контролнруемую поверхность, с периодом, меньшим ностсянной времени приемника излучения, и постепенно увеличивают амплитуду
колебаний, добиваясь размытия побочных интерференционных картин, после чего обычными методами по оставшейся четкой интерференционной картине определяют плоскостность контролируемой поверхности.
