Устройство для контроля плоскостностипРОзРАчНыХ дЕТАлЕй Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ДЕТАЛЕЙ

где D - световой диаметр оптического клина;

А - тангенс апертурного угла коллиматора.

На чертеже изображена оптическая схема устройства.

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения зеркало 2, коллиматор,включакнций. два конфокально расположенных объектива 3 и 4, кхшновидную пластину 5 с эталонной нижней поверхностью второе зеркало6, плоскость 7 наблюдения интерферьенционной картины, отклоняющий элемент 8, установленный с возможностью изменения его положения относительно оптической оси и расположенный между объективами 3 и 4 на расстоянии Ь от их фокальной плос,кости.

Устройство работает следукяцим образом.

Излучение от источника 1 монохроматического излучения направляется зеркалом 2 на объектив 3,

Пройдя отклоняющий элемент 8, излучение попадает на объектив 4 коллиматора, затем на клиновидную пластину 5 и контролируемую деталь 9. Излучение.отраженное от контролируемой детали 9 и эталонной нижней поверхности клиновидной пластины 5,интерферирует и направляется вторым зеркалом 6 в плоскость 7 наблюдения интерференционной картины. На исследуемую интерференционную картину накладываются паразитные картины, которые устраняются отклоняющим элементом 8, установленным с возможностью либо возвратно-поступательного движения относительно оптической оси, либо колебания относительно той же оси, что приводитjK изменению угла падения излучения, вызьшакпцего изменение разности хода интерферирующего излучения, отраженного от двух

поверхностей контролируемой детали 9. В результате чего паразитная интерференционная картина смещается на величину,, равную ширине одной полосы

и при периодическом изменении угла падения излучения вследствие изменения, положения отклоняющего элемейja В паразитная интерференционная картина размывается, а размытые полезной интерференционной картины незначительно.

Формула изобретения

Устройство для контроля плоскостности прозрачных деталей, содержащее источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения зеркало, коллиматор, включающий два конфокально расположенных объектива, клиновидную пластину с эталонной нижней поверхностью, второе зеркало, плоскость наблюдения интерференционной картины и отклоняющий элемент, установленный с возможностью изменения его положения относительно оптической оси, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, отклоняющий элемент выполнен в виде оптического клина, расположенного между двумя объективами на расстоянии

. 1Л

от их фокальной плоскости, где D - световой диаметр оптического СВ

клина;

А - тангенс апертурного угла ц оллиматора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1,Патент США № 4072423, кл. 356-106, 1977.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 357462, кл. G 01 В. 9/02, 1972 (прототип) ,