МАГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО Советский патент 1973 года по МПК H01J41/20 

1

Изобретение касается вакуумной техники, а именно устройств для создания ва:куума в электронных СВЧ-приборах, ускорителях заряженных частиц и других устройствах с собственным магнитным нолем.

ИзВестно магниторазрядное откачное устройство, .представляющее собой помещенную в магнитное поле совокупность пластинчатых катодов из активного металла и уста.новленного между «ими анода с ячейками в виде параллелепипедов.

Однако особенности процесса электрического рааряда в .магниторазрядных насосах связаны с тем, что при непараллельности ве.ктоpai магнитной индукции и продольной оси анодных ячеек нроизводительностынасоса снижается, падая до нуля нри некоторых критических для данной конфигурации электродной системы и величин напряженности электрического и .магнитното полей значениях угла наклона вектора магнитной индукции к осям анодных ячеек.

Целью изобретения является новыщение эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации.

Для этого в предложенном устройстве ортогональные грани ячеек анода выполнены разновысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота h меньшей грани связана со стороной а ячейки в плоскости, параллельной катоду, соотношением /J ;actgcf, где cf - максимальный угол наклона поля к продольной оси ячейки. Выполнение ортогональных граней ячеек анода разновысокими нозволяет сохранить внутри электроппый сгусток, всегда ориентированный по внешнему магнитному полю при больших углах наклона вектора магнитной индукции к продольной оси ячеек анода, нежели это возможно для ячеек анода в известном устройстве, что повышает эффективиость откачки.

На чертеже показана разрядная ячейка электродной системы предложенного устройства.

Ячейка содержит анод / с вырезами б в гранях ячейки и пластинчатые катоды 2.

Наличие электронного сгустка делает возможным ударную ионизацию молекул остаточного газа, бомбардировку ими пластин катода и ионпое распыление материала катода, в результате чего обеспечивается поглощение остаточных газов.

Предмет изобретения

Магниторазрядное откачное устройство, содержащее анод с ячейками в виде параллелепипедов и пластинчатые катоды из активного металла, помещенные в магнитное поле, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности откачки в Л1аг11итиых иолях различной ориентации, ортогональиые грани ячеек анода выиолнены разновысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота h меньшей грани связана со стороной а ячейки в полости, нараллельной катоду, соотношением /i actgcp, где ф - угол наклона ноля к продольной оси ячейки.

,tri.

L.

.

Г