МАГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО Советский патент 1973 года по МПК H01J41/20 

1

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к устройствам для создания вакуума в электронных СВЧ-приборах, ускорителях заряженных частиц и других устройствах с собственным магнитным полем.

Известно магниторазрядное откачное устройство, представляющее собой помещенную в магнитное поле совокупность пластинчатых катодов из активного металла и установленного между ними анода с ячейками в виде параллелепипедов.

Однако при непараллельности вектора магнитной индукции и оси анодных ячеек производительность известного откачного устройства уменьшается, падая до нуля при некоторых критических для данных конфигурации электродов и величин напряженности электрического и магнитного полей значениях угла наклона вектора магнитной индукции к продольной оси анодных ячеек.

Цель изобретения - повышение эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации.

Цель достигается тем, что в пред,{1агаемом откачном устройстве стороны а, Ь, h ячеек анода связаны соотношением

6 a-sec9 + -tg9,

где Ъ - ребро грани ячейки, параллельной вектору магнитного поля;

а - ребро ортогональной грани; Ф - угол наклона вектора поля к продольной оси ячейки.

Это означает, что анодные ячейки выполнены в плоскости, перпендикулярной к вектору индукции магнитного поля, приблизительно квадратными («прозрачными для силовых линий магнитного поля); форма ячейки в плоскости, перпендикулярной к оси, прямоугольная, что обеспечивает возможность использования магниторазрядного устройства в качестве эффективной встроенной системы откачки в установках с собственным магнитным полем при произвольной ориентации поля

(

На чертеже представлена в двух проекциях разрядная ячейка электродной системы предлагаемого устройства.

Ячейка содержит анод 1, пластинчатые катоды 2.

Предлагаемая конструкция обеспечивает существование в межэлектродном промежутке электронного сгустка, всегда ориентированного по внешнему магнитному полю, благодаря которому происходят ударная ионизация молекул остаточного газа, бомбардировка ими пластин катода и ионное распыление материала катода; в результате остаточные

газы ооглощаются.

Предмет изобретения

Магниторазрядное откачное устройство, содержащее помещенные в магнитное ноле пластинчатые катоды из активных металлов и анод с ячейками в виде параллелепипедов со сторонами а, b и h, отличающееся тем, что, с

целью повышения эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации, стороны ячеек анода связаны соотношением

6s ia-seccp -f/i-tgtp,

поля к продольной

где ф - угол наклона оси ячейки.

X