Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

Изобретение относится к измери- тельной технике и может использоваться при производстве и контроле круЛ- ногабаритных оптических деталей.

Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контроля путем устранения необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали.

На фиг. 1 схематически представлен интерферометр; на фиг. 2 - вариант вьшолнения объектива.

Интерферометр содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему 2, светоделитель

3,делящий падающий на него поток

на два, в одном из которых установлено эталонное плоское зеркало 4, в другом - объектив 5, вогнутое зеркало 6, регистрирующую систему 7, вогнутое зеркало 6 установлено за объективом 5 и ориентировано так, что его вогнутая поверхность обращена к объективу 5, объектив 5 выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу. 8 - контролируемая деталь.

Объектив 5 (фиг. 2) может быть выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз 9 и 10, плосковогнутая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы 10, менисковая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 поступает через телескопическую систему 2 на светоделитель 3, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь интерферометра, образованную плоским зеркалом

4,другой - в рабочую ветвь, в которой расположены объектив 5, вогнутое зеркало 6 и контролируемая деталь 8. Поток, выходящий из объектива 5, отражается от поверхности вогнутого зеркала 6, падает на контролируемую деталь 8 и, отразившись от нее, потом повторяет свой путь в обратном направлении, т.е. выходит из объектива 5, отражается от светоделителя 3 и поступает в в регистрирующую систему 7. Лучи света, отраженные от эталонной поверхности плоского зеркала 4, интерферируют с лучами, выходящими из рабочей ветви. Интерференционная картина регистрируется системой

7. По виду интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности.

В случае применения объектива 5, выполненного в виде плосковогнутой

линзы 9 и менисковой линзы 10, плоское зеркало 4 исключается из хода лучей, так как его роль вьтолняет плоская поверхность объектива 5.

Фор мула изобретения

1.Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий падающий на него поток на два, в одном из которых установлено эталонное штос-

кое зеркало а в другом - объектив и вогнутое зеркало, и регистрирующую систему, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции интерферометра, расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей и повышения производительности контроля, вогнутое зеркало установлено за объективом и ориентировано так, что его вогнутая поверхность обращена к объективу, а объектив выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнуто-.

му зеркалу.

2.Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что объектив выполнен в виде плосковогнутой и

менисковой линз, плосковогнутая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклой поверхности.менисковой линзы, а менисковая линза ориентирована так,

что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.

Изобретение относится к области измерительной техники и может использоваться при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей. Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контроля путем устранения .необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали. Излучение от источника поступает -через телескопическую систему на светоделитель, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой - в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутое зеркало и контролируемая деталь. Поток, выходящий из объектива, отражается от поверхности вогнутого зеркала, падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повторяет свой путь в обратном направлении, .Лучи света, образованные потоком, отраженным от эталонной поверхности плоского зеркала, интерфериру1от с лучами, выходящими из рабочей ветви. По виду интерференционной картины регистрируемой системой судят о качестве контролируемой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. I (Л с iNd а о Эд

(pi/г. 2

Редактор Н.Горват Заказ 5214/36

Составитель Н.Захаренко

Техред Л.Олейник Корректор 0.Г1уговая

Тираж 670Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4