СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТНЫХ ИНДУКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Советский патент 1973 года по МПК H01F41/18 

1

Изобретение относятся к микроминиатюризации радиокомлонентов|, а; ИМенно к способу изготовления плоских высокочастотных и импульсных трансформаторов, инд)ктивностей, дросселей и других магнитных элементов, пригодных для использования в интегральных схемах.

Известны способы изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов, включаю щие нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, например, методом вакуумного напыления с последующим изготовлением обмюток фотолитографией.

Целью изобретения является сокращение веса, улучшение удельных характеристик, повышение надежности, более эффективное использование рабочего объема при монтаже плоских индуктивных элементов совместно с пленочными микросхемами, уменьшение трудоемкости и повышение точности их изготовления.

Это достигается тем, что на фольге одновременно с двух сторон с помощью двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов выполняют рисунки: с одной стороны - полуобмоток, а с другой - диэлектрика. На сторону с рисунком диэлектрика наносят магнитную, диэлектрическую и сплошную металлическую пленки. Затем, совмещая раяее

нанесенный на фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотошаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов обеих половин обмоток, получают рисунок второй половины обмоток на другой стороне заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторон.

Способ осуществляют следующим образом. Иа проводящую фольгу - нижний проводящий слой - одновременно с двух сторон методом фотолитографии наносят рисунок из фоторезиста. Для этого фольгу, покрытую фоторезистом с обеих сторон, вкладывают в карман, выполненный из двух фотошаблонов, совмещенных с большой точностью под микроскопом. Один из фотошаблонов имеет рисунок полуобмоток, а другой - рисунок изоляции. Далее фольгу экспонируют, вынимают из кармана и проявляют. Затем на фольгу со стороны, где фоторезист имеет рисунок изоляции, наносят следующие необходимые слои, например, методом вакуумного напыления.

Фоторезист, имеющий изоляции, при этом выполнять роль самой изоляции, поэтому фазу на: него Наносят через соответствующий трафарет многослойной магнитной пленки. Потом наносят изоляцию, имеющую площадь большую, чем плошадь S указанной магнитной нленки, и верхний нроводящий слой из такого же материала, что и материал фольги., полностью перекрывающий последний слой изоляции. В получевной заготовке одновременно из5 верхнего и. ниж«его замкнутых между собой проводящих слоев создают методом фотолитографии обмотки плоского индуктивного элемента. Для этого на многослойную заготовку наносят фоторезист со стороны верх-10 него проводящего слоя к. вкладывают ее в другой карман, выполненный из двух совмещенных фотощаблонов, имеющих рисунки полуобмоток так, чтобы рисунок одного из них, такой же как и рясунок полуо бмоток,15 уже имеющийся ва фольге, совпал с последним. Получают рисунок полуобмоток на верхнем проводящем слое заготовки и выполняют травление сразу верхнего и нижнего проводящих слоев. В результате чего получают20 готовый плоский магнитный элемент (трансформатор, дроссель, индуктивность и т. д.), имеющий суммарную толщину в несколько десятков микрон и соответственно очень малый вес.25 Для изготовления плоских магнитных индуктивных элементов по предлагаемому способу не требуется специально разработанной оснастки. Элементы могут быть изготовлены30 на том же оборудовании, которое используется для производства интегральных схем, и. смонтированы с последними в одном корпусе, занимая пустующий технологический объем, Предмет изобретения Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов, включающий нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, например, методом вакуумного напыления с последующим изготовлением обмоток фотолитографией, отличающийся тем, что, с целью сокращения веса, повыщения надежности, более эффективного использования рабочего объема при монтаже плоских индуктизных элементов совместно с пленючными микросхемами, уменьщения трудоемкости и повышения точности их изготовления, на фольге одновременно с двух сторон с помощью двух склеенных между собой по трем сторонам фотощаблонов выполняют с одной стороны рисунок полуобмоток, а с другой - рисунок диэлектрика, на который наносят магнитную, диэлектрическую и, сплощную металли,ческую пленки, а затем, совмещая ранее нанесенный ва фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотощаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотощаблонов обеих половин обмоток, получают рисунок второй половины обмоток на другой сторове заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторов.