ГЕТТЕРНО-ИОННЬШ НАСОС Советский патент 1973 года по МПК H01J41/16 

1

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно-к конструкциям геттерно-ионных насосов с ионизацией в электростатическом лоле цилиндрической симметрии.

Известен геттерно-ионнъш насос с иояизацией в электростати,ческом толе цилиндрической симметрии, содержащий катод, анод, штабик геттерного материала, в котором, чтобы не -нарушать симметрии электростатического поля и получить более эффективную ионизадию молекул остаточного газа, теттарный материал расположен вне области ианизации, а регулировка скорости испарения геттвра осуществляется за счет изменения тока нити накала доцолиительнаго катода.

Недостатком известной конструкции является трудность в обеспечении стабильности испарения геттер:ного материала, так как в процессе работы насоса меняются геометрические размеры поверхности испарения, а следовательно, меняется подводимая удельная мощность нагрева.

Цель изобретения - повышение стабильности испарения геттерного материала- путем Обеспечен.ия постоянной площади поверхности испарения.

Отличие устройства, выполненного согласно изобретению, состоит в том, что штабик теттерно го материала раз мещев соосно с анодом

2

и окружен теплозащитными экранами, препятствующими попаданию электронов яа боковую поверхность штабика.

На чертеже представлена конструкция Предлагаемого насоса.

Вдоль оси цилиндрического корпуса насоса / расположен анод 2 в виде тонкого стержня, служащий для создания поля ионизадии. В торце насоса размещен прямонакальный

катод 3, иопускающий электроны, которые движутся вдоль анода по эллиптическим виЛтоБым траекториям, ионизируя остаточные газы. Штабик 4 геттерного материала размещен соосно с анодом и обращен к нему торцом. Вокруг щтабика расположены теплозащитные экраны 5, препятствующие попаданию электронов на боковую поверхность штабика. Электроны попадают лишь №а торцовую часть щтабика, с которой проис.кодит испарение геттера. В процессе испарения геометрия поверхности испарения геттера остается неизменной, что обеспечивает стабильный ре жим работы. Скорость испарения геттера регулируется изменением потенциала на штабике 4.

Предмет изобретения

Геттерло-иоилый насос с ионизацией в электростатическом поле цилиндрической симметрии, содержащий катод, аноД, геттерного материала, отличающийся тем, что, с целью -повышения стабильности испарения геттерНОго материала, шта:бик геттерного материала размещен соосно с анодом и оь ружен теплозащитными экранами, препятствующими попаданию электродов на боковую поверхность штабика.