УСТРОЙСТВО для ГРУППОВОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относится к области конструирования приспособлений для производства полупроводииковых приборов, в частности для групповой обработки полупроводниковых элементов.

Известны кассеты для очистки полупроводниковы.х элементов от травителя и адсорбироDaiiHbix иримесей после операции травления. Однако они не обеснечнвают равномерного доступа реагента к каждому полупроводниковому элементу, находящемуся в кассете, и тем самым не позволяют получить одинаковой степени очистки поверхности одновременно для большого количества полупроводниковых элементов.

Предлагаемое устройство отличается тем, что кассета выполнена в виде иидивидуальных ячеек с кольцевыми экранами и кольцевыми щелями, которые через систему каналов соединены с емкостью для обрабатывающей жидкости. Это обесиечивает равномерную очисгку поверхности.

Иа чертеже изображено предлагаемое устройство, разрез.

В кассете / размещены полупроводниковые элементы 2. Очищающий реагент, например высакоомная депонизованная вода, подается в камеру Л. Из камеры 3 очищающий реагент нанраиляется через отверстия 4 в полость 5

кассеты, а затем через направленные под углом кольцевые щели 6 пепосредственио к полунроводннковому элементу 2.

Пад каждым полупроводниковым элементо.м благодаря внешнему экрану 7 в рабочей полости ячейки создается одинаковый урове1 ь очищающего реагента для всех ячеек. Таким образом, очип1аю1цнй реагент, попадая в камеру 3, равномерно распределяется по полости 5 кассеты и из нее равномерно подается к иолупроводпиковым элементам, обеспечивая леирерывное и практнчески равномерное растворение примесей и их унос одновременно и непосредственно от поверхности полупроводникового элемента.

Паряду с очисткой поверхности полупроводииковых элементов устройство может быть использовано и для электрохимической обработки многих полупроводниковых элемептоь. Выбрав в качестве очищающего реагента соответствующ1И электролит и изготовив экран 7 из металла, устройство позволяет осуществить одинаковую электрохимическую обработку одновременно MHoriix полупроводниковых элементов благодаря одинаковому .т,ля всех ячеек кассеты потоку электролита и одинаковому расстоянию от поверхности металлического кольца до поверхности полупроводникового элемента в каждой ячейке кассеты, Предмет изобретения Устройство для групповой обработки полупроводниковых элементов, содержащее Kav,сету для размещепня обрабатываемых элемеи- 5 тон И емкость для обрабатывающей жидкостч, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности очистки поверхности, кассета выполнена в виде индивидуальных ячеек с кольцевыми экранами и .кольцевыми щелямч. которые через систему каналов соединены с емкостью для обрабатывающей жидкости.