ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ПРОМЫВКИ И СУШКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Советский патент 1972 года по МПК G03D5/00 

Изобретение относится к области нолунроводникового приборостроения, в частности к технике промывки и сушки тонких пластин.

Известны устройства для промывки, например, фотографическнх пластин, содерл ащне транспортер из покрытых резиной роликов, моющие щетки и узел нодачи моющей жидкости. Однако эти устройства не обеспечивают обработку малогабаритных тонкнх полупроводниковых лластин из кремния или германия.

Предлагаемое устройство позволяет значительно повысить производительность труда и улучшить качество обработки полупроводниковых пластин. Для этого в предлагаемый полуавтомат для промывки и сушки к цепному конвейеру прикреплены кассеты, каждая из которых представляет собой несущую ячейку в виде пластины с ушками для крепления к конвейеру со сквозным отверстием в центре с диаметром, превышающим размер обрабатываемой детали, дно которой образовано натянутыми вдоль ячейки нитями, а верхняя поверхность ее выполнена с продольными пазами, через которые пропущены натянутые нити вдоль по ходу конвейера, закрепленные на неподвнжных обоймах.

Полуавтомат состоит из цепного конвейера / с закрепленными на нем специальными несущими ячейками (кассетами) 2 для тонких промываемых полупроводниковых пластин 3,

обеспечпвающих одновременную двустороннюю промывку с .помощью вращающихся волосяных щеток 4 цилиндрической формы с двусторонней струйной подачей воды на промываемую тонкую пластину 3 с последующей

сушкой в сущильной камере 5.

Несущая тонкую промываемую пластину ячейка 2 представляет собой пластину, которая в 7-10 раз толще промываемой пластины 3, с ушками по бокам для крепления к

конвейеру / и со сквозным отверстием в центре с диаметром, большим, чем размеры промываемой пластины 3. Дно несущей ячейки 2 образовано натянутыми продольными тонкими нитями 6, закрепленными на нижней поверхности ячейки 2, на которых расположена промываемая пластина 3.

Верхняя поверхность ячейки 2 снабжена продольными пазами 7, совпадающими с направлением движения цепного конвейера 1,

через которые нроходят натянутые .вдоль по ходу конвейера 1 в зонах промывки тонкие нити 8, закрепленные в неподвижных обоймах 9. Сушильная камера 5 представляет собой

вейер / с закрепленными на нем несущими ячейками 2, в которых расположены промытые тонкие пластины 5. Сушильная камера 5 снабжена нагревательным элементом. По выходе из этой камеры пластина 3 выпадает под действием собственного веса на разгрузочный транспортер и попадает в накопитель (на чертежах не показаны).

Полуавтомат работает следующим образом.

Промываемые пластины 3 загружают в несущие ячейки 2, которые по конвейеру I перемещаются на позицию промывки. Промывка осуществляется одновременно с двух сторон вращающимися щетками 4 в струях подающейся воды (или другой жидкости). По трубопроводам 10 через щели // в насадке 12 подается жидкость под углом в 30-45° к поверхности промываемой пластины 5 снизу и сверху. Тонкие натянутые нити 6, закрепленные на нижней поверхности несущей ячейки 2, служат ее дном.

Нити 8, входящие в пазы на верхних поверхностях несущих ячеек 2, закрепленные на неподвижных обоймах 9, перекрывают отверстия в несущих ячейках 2 сверху и предохраняют промываемую пластину от выпадания. Время, затрачиваемое на промывку, совпадает с периодом сущки пластин.

Промытая и высущенная пластина 3 на выходе из сущильной камеры 5 подается с цепного конвейера / на разгрузочный транспортер, выполненный из мягкой резиновой ленты, который переносит тонкую пластину в специальную емкость - накопитель.

Предмет изобретен и я

Полуавтомат для промывки и сущки полупроводниковых пластин, содержащий цепной конвейер, моющие щетки, обойму с натянутыми нитями и сущильную камеру, отличающийся тем, что, с целью повыщения производительности труда и улучшения качества обработки, в нем к цепному конвейеру прикреплены кассеты, каждая из которых представляет собой несущую ячейку в виде пластины с ущками для крепления к конвейеру со сквозным отверстием в центре с диаметром, превышающим размер Обрабатываемой детали, и дно которой образовано натянутыми вдоль ячейки нитями, а верхняя поверхность ее выполнена с продольными пазами, через которые пропущены натянутые нити вдоль по ходу конвейера, закрепленные на неподвижных обоймах.

Риг 2