Способ серийного выращивания монокристаллов Советский патент 1975 года по МПК B01J17/06 

1

Известен способ серийного выращивания монокристаллов по методу Бриджмеиа с вращением тиглей (или одного многогнездиого тигля).

Однако этот способ отличается вредным влиянием ассиметрии теплового поля в процессе кристаллизации, а при использовании многогнездного тигля еще и неравномерный диффузионный контакт кристалла и расплава с окружающей атмосферой.

С целью повышения качества и выхода полученных кристаллов предлагается тигли вращать вокруг общей оси и каждый из них вокруг собственной.

Способ осуществляют следующим образом. В тигли засыпают соли веществ, из которых хотят получить монокристаллы и помещают их в зону наргевателя печи. После создания необходимых условий роста (температура, атмосфера и др.), тиглям сообщают двойное вращение с заданной скоростью опускания.

Способ обеспечивает повышение качества и выхода полученных кристаллов.

Пример. В тигли засыпают соли SrFs и Рвр2 («0,25% от общего веса SrPz) и легирующую примесь GdFj из расчета необходимой концентрации в шихте. Тигли укрепляют на устройстве для двойного вращения с таким расчетом, чтобы они находились в рабочей зоне нагревателя. Подключением вакуумных насосов добиваются необходимого вакуума в объеме печи ( мм рт. ст.). После этого нагревают тигли до 1500°С, выдерживают 5-10 мин и включают двойное вращение тиглей со скоростью опускания последних 5-22 мм/час.

Предмет изобретения

Способ серийного выращивания монокристаллов по методу Бриджмена с вращением тиглей, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и выхода полученных кристаллов, тиглп вращают вокруг общей оси и каждый из них вокруг собственной оси.